[发明专利]软硬复合涂层刀具及其制备方法

权利要求书

1.软硬复合涂层刀具的制备方法，该软硬复合涂层刀具基体材料为高速钢或硬质合金，涂层材料为：ZrN和MoS₂，刀具表面为MoS₂软涂层，MoS₂软层与刀具基体之间有Ti过渡层和ZrN硬涂层 ,其特征在于沉积方式为中频磁控沉积MoS₂软涂层+电弧法镀Ti过渡层和ZrN硬涂层，其制备方法的步骤为：

(1)前处理：将刀具基体材料高速钢或硬质合金抛光至镜面，去除表面污染层，依次放入酒精和丙酮中，超声清洗各15min，去除表面汗渍和油污，干燥充分后迅速放入镀膜机真空室，真空室本底真空7.0×10^-3Pa，加热至200℃，保温30～40min；

(2)离子清洗：通Ar气，其压力为0.6～1.5Pa，开启偏压电源，电压800～900V，占空比0.2，辉光放电清洗15min；偏压降低至200V/0.2，开启离子源离子清洗15min，开启电弧源，偏压400V，靶电流50A，离子轰击Ti靶0.5min；

(3)沉积Ti：调整Ar气压至0.4～0.5Pa，偏压降低至150V，电弧镀Ti2～6min；

(4)沉积ZrN：调整工作气压为0.4～0.5Pa，偏压150V，Zr靶的靶电流80～100A；开启N₂，调整N₂与Ar气的分压为1∶1，沉积温度220～260℃，电弧镀ZrN 60～80min；

(5)沉积MoS₂：开启MoS₂靶，偏压调至200V，关闭离子源，关闭Zr靶，沉积温度150～220℃，中频磁控沉积MoS₂80～150min；

(6)后处理：关闭MoS₂靶，开离子源轰击5～8min ;关闭各电源、离子源及气体源，涂层结束。