[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置及执行元件装置有效
| 申请号： | 200910179424.8 | 申请日： | 2009-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN101722730A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 宫泽弘;伊藤浩;两角浩一;加藤治郎 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/045;H01L41/09 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 雒运朴;李伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 液体 喷射 装置 执行 元件 | ||
1.一种液体喷射头，其特征在于，具有：
流路形成基板，其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生 室；和
压电元件，其具有第1电极、形成在该第1电极上的压电体层、和 形成在该压电体层上的与所述第1电极相反侧的第2电极，通过使所述 压力发生室产生压力，从所述喷嘴开口喷出液滴；
所述压电体层在所述第2电极侧具有氧缺欠层，
在所述压电体层中，朝向所述第1电极侧的极矩比朝向所述第2电 极侧的极矩大。
2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，
在所述第1电极和所述第2电极未被施加电压的状态下，所述压电 体层中朝向所述第1电极侧的内部电场与朝向所述第2电极侧的内部电 场的大小不同。
3.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，
所述压电体层具有钙钛矿构造，含有铅、锆及钛。
4.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，
所述压电体层具有单斜晶系构造。
5.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，
所述压电体层在(100)面优先取向。
6.一种液体喷射装置，其特征在于，具有权利要求1～5中任意一 项所述的液体喷射头。
7.一种执行元件装置，其特征在于，
具备压电元件，该压电元件被设置在基板上，可以进行变位，具有 第1电极、形成在该第1电极上的压电体层、和形成在该压电体层的与 所述第1电极相反侧的第2电极，
所述压电体层在所述第2电极侧具有氧缺欠层，
在所述压电体层中，朝向所述第1电极侧的极矩比朝向所述第2电 极侧的极矩大。
8.根据权利要求7所述的执行元件装置，其特征在于，
在所述第1电极和所述第2电极未被施加电压的状态下，所述压电 体层中朝向所述第1电极侧的内部电场与朝向所述第2电极侧的内部电 场的大小不同。
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