[发明专利]电子发射器件、其制造方法、电子源及图像显示装置

权利要求书

1.一种电子发射器件，包含：

第一导电膜和第二导电膜，所述第一导电膜和所述第二导电膜被置于基板上，在其间具有间隙；

第一碳膜，所述第一碳膜具有一端和另一端，所述一端与第一导电膜连接，并且，所述另一端位于第一导电膜和第二导电膜之间的间隙中；和

第二碳膜，所述第二碳膜具有一端和另一端，所述一端与第二导电膜连接，并且，所述另一端隔着第二间隙与第一碳膜的所述另一端面对，

其中，第一碳膜和第二碳膜分别具有从第一导电膜和第二导电膜之间的部分延伸的沿Y轴的延伸部分，其中，X轴是从第一导电膜到第二导电膜的方向，而Y轴是与基板表面平行并与X轴正交的方向，以及

其中，在第一碳膜和第二碳膜之间的间隙中，所述基板表面具有在碳膜的所述延伸部分的端缘部之间延伸的凹部。

2.一种电子源，包含根据权利要求1所述的电子发射器件。

3.一种图像显示装置，包含根据权利要求2所述的电子源、和通过受到从所述电子源发射的电子的照射而发光的发光部件。

4.一种权利要求1的电子发射器件的制造方法，包括：

在基板上形成其间具有间隙的第一导电膜和第二导电膜，所述基板在表面上包含氧化硅；

通过在包括含碳气体的气氛下在第一导电膜和第二导电膜之间施加脉冲电压，形成与第一导电膜连接的第一碳膜和与第二导电膜连接的第二碳膜，同时，在第一碳膜和第二碳膜之间的间隙中形成凹部；以及，

通过在所述含碳气体的分压更高的气氛下在第一导电膜和第二导电膜之间施加脉冲电压，分别在第一碳膜和第二碳膜上形成延伸部分。

5.根据权利要求4所述的电子发射器件的制造方法，还包括：在第一碳膜和第二碳膜上形成所述延伸部分之后，选择性地将基板的位于第一碳膜和第二碳膜之间的间隙中的表面暴露于包含氟化氢的溶液中。