[发明专利]软性印刷电路基板的综合检查系统及其方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种软性印刷电路基板的综合检查系统及其方法，更详细地 说，涉及一种能够综合检查软性印刷电路基板的电路图案和外观的软性印刷电 路基板的综合检查系统及其方法。

背景技术

液晶显示装置的驱动集成电路、存储器等各种半导体设备的制造中所使用 的主要材料之一的印刷电路基板，根据半导体设备的小型化、轻量化倾向而大 多使用薄膜(film)、线带(tape)类型等软性印刷电路基板(Flexible Printed Circuit Board)。软性方式的印刷电路基板中例如有TAB(Tape Automatic Boading)、 COF(Chip On Film)基板等，通过曝光、显影、蚀刻工序等来在基板上形成 微细电路图案。

在这种软性印刷电路基板的生产中，实际情况是分两次单独实施利用了用 于检查图案的图案检查器(AOI)、和经过图案检查后的镀金、阻焊(solder resist) 工序在最终出厂前检查整体外观的外观检查器(AVI)的检查工序。

因而，在软性印刷电路基板的生产中，要求能够更有效地且快速地进行图 案检查和外观检查的检查设备。

发明内容

本发明是鉴于上述问题点而作出的，其目的在于提供一种能够由一台设备 进行图案检查和外观检查的软性印刷电路基板的综合检查系统及其方法。

本发明提供一种能够对涂抹了阻焊剂的软性印刷电路基板进行图案检查 的软性印刷电路基板的综合检查系统及其方法。

本发明提供一种能够防止误检测的软性印刷电路基板的综合检查系统及 其方法。

本发明要解决的问题不限于此，本领域从业人员能够从下面的记载中明确 地理解未提及到的其它问题。

为了达成上述目的，本发明提供一种连续形成软性印刷电路基板单元的检 查对象物的综合检查系统。根据本发明的一实施方式，本发明的综合检查系统 具备：进料部(loader)，其提供前述检查对象物；卷料部(unloader)，其卸载 完成检查的前述检查对象物；以及检查部，其配置在前述进料部和前述卷料部 之间，检查从前述进料部向前述卷料部移动的前述检查对象物，前述检查部包 括检查前述检查对象物图案的图案检查部、和检查前述检查对象物外观的外观 检查部。

根据本发明的实施方式，前述图案检查部包括拍摄部，该拍摄部具有照相 机和向前述检查对象物照射光的照明部，前述照明部包括向前述检查对象物照 射光并生成透过该检查对象物的透射光的透射照明、和向前述检查对象物照射 光并生成经该检查对象物反射的反射光的反射照明中的至少一个。

根据本发明的实施方式，前述透射照明或者前述反射照明是照射绿色光的 照明。

根据本发明的实施方式，前述透射照明或者前述反射照明是照射具有 500～570nm波长的光的照明。

根据本发明的实施方式，前述透射照明或者前述反射照明是LED照明。

根据本发明的实施方式，前述图案检查部的前述照明部是向前述检查对象 物照射红外线频带的光。

根据本发明的实施方式，前述图案检查部的前述照相机是红外线照相机。

根据本发明的实施方式，前述外观检查部包括拍摄部，该拍摄部具有照相 机和向前述检查对象物照射光的照明部，前述照明部包括向前述检查对象物照 射光并生成透过该检查对象物的透射光的透射照明、和向前述检查对象物照射 光并生成经该检查对象物反射的反射光的反射照明中的至少一个。

根据本发明的实施方式，前述软性印刷电路基板的综合检查系统还具备不 佳图像确认部，其为了将经前述图案检查部以及前述外观检查部检测出的不佳 部分拍摄为彩色图像，使操作者判断该检测出的不佳部分是真正不佳还是误检 测而提供给显示器。

根据本发明的实施方式，前述不佳图像确认部包括：反射照明，其向前述 检查对象物照射光，生成经该检查对象物反射的反射光；以及彩色照相机，其 划分前述检查对象物的相互不同的区域进行拍摄。

根据本发明的实施方式，前述不佳图像确认部包括：反射照明，其向前述 检查对象物照射光，生成经该检查对象物反射的反射光；面阵照相机，其以面 阵扫描(area scan)方式拍摄前述检查对象物的不佳部分；以及移动部件，其 用于将前述面阵照相机移动到前述检查对象物的不佳部分。