[发明专利]投影光学系统、曝光装置以及器件制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及投影光学系统、具备该投影光学系统的曝光装置以及 使用该曝光装置来制造器件的器件制造方法。

背景技术

平板显示器(以下称为FPD)是通过光刻工序制造的。在光刻 工序中，针对涂敷有感光剂的基板(在FPD的制造中，一般是玻璃 板)通过投影光学系统投影底版的图案而对该基板进行曝光。在用于 对基板进行曝光的曝光装置中，重合误差的降低是重要的。重合误差 是例如由于调准误差、像差(畸变)、倍率误差而产生的。在它们之 中，调准误差可以通过高精度地调整底版与基板的相对位置来降低， 但像差与倍率误差无法通过调准来校正。

玻璃板等基板由于由生产工艺发生的热等原因而发生伸缩，从而 可能引起倍率误差。由于基板收缩，第二工艺以后的重合精度恶化。 另外，在扫描曝光中的扫描方向和与其垂直的方向上产生不同的伸 缩。为了降低伴随基板的伸缩的误差，针对扫描方向的伸缩，考虑在 底版与基板之间给予相对的速度差来曝光的方法。另外，针对与扫描 方向垂直的方向的伸缩，考虑如下方法：将平行平板玻璃配置在底版 或基板的附近，并通过将该平行平板玻璃弯曲而使光线折射，由此进 行倍率的微调整。

在日本专利公开昭62-35620号公报、日本专利3341269号公报 中，公开了倍率校正方法。在日本专利公开昭62-35620号公报中， 公开了在投影光学系统中将相对光轴旋转对称的两个透镜相互接近 地配置，并在光轴方向上对其中一个透镜进行驱动的技术。在日本专 利3341269号公报中，公开了使相对投影光学系统的光轴旋转非对称 的至少两个复曲面型光学部件中的至少一个复曲面型光学部件相对 于光轴旋转或在光轴方向上移动的技术。

但是，在为了校正基板的扫描方向上的倍率而在底版与基板之间 相对地给予速度差的方法中，在良像区域是圆弧状的情况下，可能发 生特有的非对称畸变像差。为了对其进行校正，需要对其他的像差校 正用的光学部件进行驱动。由此，发生机械机构的复杂化和驱动像差 残渣。

另外，在为了对与基板的扫描方向正交的方向上的倍率进行校正 而将平行平板玻璃弯曲的方法中，难以将平行平板玻璃高精度地弯曲 为目标形状，而发生非线性的像差误差分量。而且，为了应对近年来 的基板的大型化，平行平板玻璃也必需大型化，这可能带来误差。

在日本专利公开昭62-35620号公报、日本专利3341269号公报 记载的方法中，不能各自地进行针对扫描方向的倍率校正和针对与其 正交的方向的倍率校正。

发明内容

本发明是鉴于上述背景而完成的，其示例性的目的在于，能够各 自地进行两个正交的方向上的倍率校正。

本发明的第一侧面涉及一种投影光学系统，在从物体面至像面的 光路中依次配置有第一凹反射面、凸反射面、第二凹反射面，将配置 于上述物体面上的物体的像投影到上述像面，上述投影光学系统具 备：配置在上述光路中的第一折射光学单元以及第二折射光学单元； 第一致动器，对上述第一折射光学单元进行驱动；以及第二致动器， 对上述第二折射光学单元进行驱动，上述第一折射光学单元以及上述 第二折射光学单元分别具有两个以上的柱状面，上述第一折射光学单 元配置为能够调整第一方向上的上述投影光学系统的投影倍率，上述 第二折射光学单元构成为能够调整与上述第一方向正交的第二方向 上的上述投影光学系统的投影倍率，上述第一致动器变更上述第一折 射光学单元的两个以上的柱状面的间隔，以使上述第一方向上的投影 倍率成为第一目标投影倍率，上述第二致动器变更上述第二折射光学 单元的两个以上的柱状面的间隔，以使上述第二方向上的投影倍率成 为第二目标投影倍率。

本发明的第二侧面涉及对基板进行曝光的曝光装置，上述曝光装 置具备上述投影光学系统，通过上述投影光学系统将底版的图案投影 到基板来对该基板进行曝光。

本发明的第三侧面涉及器件制造方法，上述器件制造方法包括： 通过上述曝光装置对涂敷有感光剂的基板进行曝光的工序；以及使该 感光剂显影的工序。

本发明的更多特征将从下面参照附图的具体实施方式的描述中 变得清楚。

附图说明

图1是示出本发明的优选的实施方式的曝光装置的概略结构的 图。

图2是示意性地示出图1所示的曝光装置的投影光学系统的结构 的图。