[发明专利]脆性材料的热应力割断方法

权利要求书

1.一种脆性材料的热应力割断方法，由从激光振荡器射出的激光 光束照射对脆性材料进行加热，依靠热应力割断上述脆性材料，其特 征在于：将进行加热的激光光束由进行初期加热及升温的第一激光光 束及进行温度维持的第二激光光束构成，将上述第一激光光束的激光 输出强度设定得比第二激光光束的激光输出强度大，使上述第一激光 光束及第二激光光束在上述脆性材料的照射位置中相互不重叠地相对 于光束扫描方向依次排列在同一线上，使上述第一激光光束及第二激 光光束的上述激光输出强度与激光光线扫描速度相应地分别独立地变 化而使激光输出稳定为所需要的值，如果使上述第一激光光束及第二 激光光束向上述脆性材料的表面照射，沿切断预定线使其在扫描方向 扫描，则上述脆性材料的表面被加热到一定的温度，依靠热应力使龟 裂在脆性材料的表面行进，形成划线。

2.根据权利要求1所述的脆性材料的热应力割断方法，其特征在 于：对从由激光光束照射加热的脆性材料的加热位置到光束扫描线上 的后方位置进行冷却。

3.根据权利要求1所述的脆性材料的热应力割断方法，其特征在 于：与由激光光束照射加热的脆性材料的光束扫描线一致地施加弯曲 应力。