[发明专利]改进的直拉单晶炉加热器结构无效
| 申请号： | 200910099829.0 | 申请日： | 2009-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101580962A | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;张俊;朱亮;邱敏秀 | 申请（专利权）人： | 上虞晶盛机电工程有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人： | 唐银益 |
| 地址： | 312364浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改进 直拉单晶炉 加热器 结构 | ||
【权利要求书】：
1、一种改进的直拉单晶炉加热器结构，包括在轴线方向上布置了交互且均匀开槽的环形石墨加热器，其特征在于，在环形石墨加热器上设置一个减薄加热段，减薄加热段的径向横截面积为加热器其余部位的径向横截面积的2/3～3/4；所述减薄加热段是指从加热器的底部起至总高度的1/5～1/4处的部分。
2、根据权利要求1所述的改进的直拉单晶炉加热器结构，其特征在于，所述减薄加热段与加热器其余部位具有相同的径向厚度，减薄加热段的开槽宽度大于加热器其余部位的开槽宽度。
3、根据权利要求1所述的改进的直拉单晶炉加热器结构，其特征在于，所述减薄加热段与加热器其余部位具有相同的开槽宽度，减薄加热段的径向厚度小于加热器其余部位的径向厚度。
4、根据权利要求1所述的改进的直拉单晶炉加热器结构，其特征在于，所述减薄加热段的开槽宽度大于加热器其余部位的开槽宽度，减薄加热段的径向厚度小于加热器其余部位的径向厚度。
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