[发明专利]一种石墨电极功能陶瓷器件及其制备方法

权利要求书

1、一种石墨电极功能陶瓷器件及其制备方法，其特征在于在压电陶瓷表面采用手工涂覆法、磁控溅射法、熔融淬火法、脉冲激光沉积法、热喷涂法或真空蒸镀法制备石墨电极薄膜，再将石墨电极薄膜放入硅油中加热至120℃，在4kV/mm电压下保持50min进行极化，降温至室温，测试相关性能。

2.如权利要求1所述的石墨电极功能陶瓷器件及其制备方法，其特征在于石墨电极的膜厚为100-5000nm，颗粒度为10-5000nm，导电率为0.769×10⁵～0.125×10⁶S/m。

3.如权利要求1或2所述的石墨电极功能陶瓷器件及其制备方法，其特征在于适用的功能陶瓷包括：

(1)锆钛酸铅基压电陶瓷，化学式为：(1-x)Pb(Ti_aZr_b)O₃-xABO₃，a+b＝1，0≤x≤0.05，A＝K，Na，Li，Ca，Ag，Cd，Sr，Ba，Bi；B＝Sb，Ta，Nb，Sn，Hf，Ce；

(2)铌酸钾钠基压电陶瓷，化学式为：(1-x)(Na_aK_b)NbO₃-xABO₃，a+b＝1，0≤x≤0.05，A＝Li，Ca，Ag，Cd，Sr，Ba，Bi，Pb；B＝Sb，Ta，Ti，Zr，Mg，Co，Ni，Cu，Zn；

(3)钛酸钡基压电陶瓷，化学式为：(1-x)BaTiO₃-xABO₃，0≤x≤0.05，A＝K，Na，Li，Sr，Ca，Pb；B＝Sb，Ta，Zr，Sn，Hf，Ce；

(4)钛酸铋钠基压电陶瓷，化学式为：(1-x)Bi_aNa_bTiO₃-xABO₃，a+b＝1，0≤x≤0.05，A＝K，Li，Ca，Ag，Cd，Sr，Ba，Pb；B＝Sb，Ta，Mg，Co，Ni，Cu，Zn；

(5)铋层状结构基压电陶瓷，化学式为：(Bi₂O₂)²⁺·(A_x-1B_xO_3x+1)^2-，0≤x≤0.05，A＝K，Na，Li，Ca，Ag，Cd，Sr，Ba，Pb；B＝Sb，Ta，Ti，Zr，Sn，Hf，Ce；

(6)(Sr_xBa_1-x)Nb₂O₆基压电陶瓷，0≤x≤0.05；

(7)(A_xSn_1-x)NaNb₅O₁₅基压电陶瓷，0≤x≤0.05，A＝Ba，Ca，Mg；

(8)Ba_4-2xAg_2+xLn_xNb₁₀O₃₀基压电陶瓷，0≤x≤0.05，Ln＝Gd，Dy，Nd，Sm，La，Pr)；

(9)Ba_1-xSr_xTiO₃基压电陶瓷，0≤x≤0.05。