[发明专利]金刚线截断机

说明书

技术领域

本发明涉及一种线切割技术，特别是涉及一种采用单个贮丝滚筒及单个驱动电机的金刚线截断机。

背景技术

线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢线上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦，从而达到切割目的。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比有具有效率高，产能高，精度高等优点。

在对工件的切割过程中，钢线通过十几个导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的上升下降实现工件的进给，并在压力泵在的作用下，装配在设备上的研磨剂自动喷洒装置将研磨剂喷洒至钢线和工件的切削部位，由钢线带动研磨剂往复运动，利用研磨砂对工件产生切削，以将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片，在上述的作业中，钢线的作用举足轻重，但即便最好的钢线，其延伸度及耐磨度也是有限度的，也就是说钢线在带动研磨剂往复运动中会逐渐变细，直至最终被拉断。

在现有技术中，常见的线切割设备(机床)都会设计钢线张力补偿机构，为弥补钢线往返行走中的延伸度，钢线的抽出及卷取均是独立驱动的，即在钢线左、右运动中把钢线抽出、卷取的。因此一根钢线要在其拉伸强度限度内克服钢线所受到的所有阻力，才会对钢线进行卷取。但是，如此一来就不得不在设备的走丝系统中配置两个贮丝滚筒，即一个用于放线，另一个用于收线，相应地，每一个贮丝滚筒都需要单独装配一个驱动电机。由于线切割设备(机床)具有两个独立驱动贮丝滚筒，在运行及维护过程中，分立元件的调节非常不方便，操作步骤也相当繁琐，增加了调节的技术难度，再者，每一个贮丝滚筒都需要单独装配一个驱动电机也大大增加了设备的成本。

另外，现有技术中运用的钢线往往需要配合研磨剂才能进行切割作业，不但增加了用料成本，也会导致后续对设备及工件的清洗十分不便，而且研磨液的回收难度很大，对工件的污染也比较严重，实为不容忽视的一大问题。

所以，如何提供一种线切割设备，以避免以上所述的缺点，实为相关领域之业者目前亟待解决的问题。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种金刚线截断机，以解决现有技术中在设备中配置多个贮丝滚筒及驱动电机而导致的设备成本昂贵的问题。

本发明的另一目的在于提供一种金刚线截断机，以降低用料的成本、解决工件清洗不方便、研磨液回收难度大，以及对工件污染严重的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种金刚线截断机，其至少包括贮丝筒、用于驱动所述贮丝筒于正向或逆向旋转的电机、均匀地缠绕在所述贮丝筒上的切割丝、用于对所述切割丝进行导向的第一导丝轮及第二导丝轮、以及切割辊，其特征在于：所述贮丝筒及电机的数量均为一个，且缠绕在所述贮丝筒上的切割丝为一层；所述第一导丝轮及第二导丝轮之间设置有张力补偿装置，所述张力补偿装置具有用以调整所述切割丝张力的调整轮，以及用于拉动所述调整轮于水平方向运动的气动伸缩件。

本发明之金刚线截断机中，所述切割丝为表层具有金刚砂的金刚线，且缠绕在所述贮丝筒上的切割丝为单层，进而避免了切割丝因交错而发生纠缠的问题。

本发明之金刚线截断机中，所述张力补偿装置还具有一滑块，所述滑块一端连接所述调整轮，另一端连接所述气动伸缩件，具体地，所述滑块滑动设置于一滑轨上，且所述滑块与滑轨之间设有多个滚珠。所述气动伸缩件具有一气缸以及可根据所述气缸内气压变化做伸缩运动的伸缩杆，所述气缸具有一进气口，用于向所述气缸内输送气压。

如上所述，本发明的金刚线截断机，采用了单一贮丝筒及电机，并配合有张力补偿装置，进而解决了现有技术中需要在设备的走丝系统中配置多个贮丝滚筒到达补偿张力的目的，而导致的成本昂贵的问题；再者，本发明之金刚线截断机中，所述切割丝为表层具有金刚砂的金刚线，避免了浪费用料、解决了工件清洗不方便、研磨液回收难度大，以及对工件污染严重的问题，进而提高产品合格率也提高了设备的运行效率，即有效克服了现有技术中的种种缺点。

附图说明

图1显示本发明的金刚线截断机的走丝示意图。

图2为本发明的金刚线截断机的张力补偿装置结构示意图。

元件标号的简单说明：

11        贮丝筒

12        电机

13        切割丝

14        第一导丝轮

15        第二导丝轮

16        切割辊

17        张力补偿装置

171       调整轮