[发明专利]紫铜/不锈钢复合板坩埚及制备方法有效

专利信息
申请号: 200910032462.0 申请日: 2009-07-08
公开(公告)号: CN101619929A 公开(公告)日: 2010-01-06
发明(设计)人: 杭逸夫;肖仁道;葛伟;赵瑞晋;李贤全 申请(专利权)人: 南京宝泰特种材料有限公司
主分类号: F27B14/10 分类号: F27B14/10
代理公司: 南京天翼专利代理有限责任公司 代理人: 汤志武;王鹏翔
地址: 211100江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 紫铜 不锈钢 复合板 坩埚 制备 方法
【权利要求书】:

1.复合坩埚的生产方法,由紫铜/不锈钢复合板构成复合坩埚筒体侧壁和导电法兰,复合坩埚的底为紫铜/不锈钢复合板构成,紫铜在坩埚内侧,其特征是包括以下步骤制备:

a对紫铜/不锈钢复合板进行表面检测,超声波探伤处理;

b紫铜/不锈钢复合板开焊接坡口,坡口清理,卷制;

c对卷制的紫铜/不锈钢复合板进行焊接、校圆、精整处理、射线探伤;焊接时将卷制复合板坩埚筒体进行焊接,先进行筒体内表面的紫铜焊接,然后进行不锈钢的焊接;

d对紫铜/不锈钢复合板筒体及导电法兰进行粗加工;

e对复合板筒体和导电法兰进行焊接和热处理,筒体与导电法兰的焊接,先对不锈钢层进行焊接,然后进行导电法兰上面的紫铜表面与坩埚的筒体内表面紫铜焊接;热处理的工艺条件是:进行回火热处理,回火的次数为2-3次,回火工艺条件是:

1)焊接好的复合板筒体和导电法兰进炉时,炉内温度不高于400℃;

2)升温至400℃后,炉温升温速度50-200℃/h;至600~650℃,保温时间为3h以上,12h以下;

3)在炉内降温后出炉,降温速度50-200℃/h,出炉时,炉温不得高于400℃,出炉后在空气中冷却;

f对焊接好的复合坩埚进行机加工至坩埚要求尺寸;

g对复合坩埚进行水压试验。

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