[发明专利]多功能磁控溅射连续镀膜机

说明书

技术领域

本发明涉及一种多功能磁控溅射连续镀膜机，具体涉及一种主要用于类似太阳能热发电系统的集热管金属内管表面镀膜的镀膜机，属于磁控溅射镀装设备技术。

背景技术

诸如由本申请人申请的申请号为200910030111.6槽式太阳能热发电系统集热管的金属内管表面，镀布有掺钼三氧化二铝镀层(业内称之为金属陶瓷层)。所述金属陶瓷镀层，是由若干层纳米级厚度的钼膜层，和三氧化二铝膜层相互交错镀布复合所构成。通过相邻钼膜层和三氧化二铝膜层界面的相互渗透，构成所述掺钼三氧化二铝金属陶瓷镀层，用以有效提高太阳能吸收率和降低红外光发射率，实现存在于金属内管内的工质导热油温度达到≥350℃的目的。

已有的磁控溅射镀膜机，由于结构性不足，而不能支持类似于上述金属内管表面镀层的连续镀膜生产。因此，提供一种能够支持类似于上述金属内管表面镀层的连续镀膜设备，便成为业内的期盼。

发明内容

本发明旨在提供一种结构合理，生产效率高，能够镀布一层、二层和二层以上不同物质镀膜的多层复合镀层的多功能磁控溅射连续镀膜机，以满足业内生产集热管尤其是生产太阳能热发电系统所用集热管的装备需求。

本发明实现其目的的技术构想主要有以下四个方面：一是提供一种多室、多靶的箱体结构，为满足一层、二层和若干层不同物质膜层的镀膜提供支持；二是提供一种可在箱体内前后往复运动的工件金属管承载车的结构，以满足至少各有一层不同物质膜层复合镀布的要求；同时对需要由若干层不同物质膜层相互交错镀布构成多层复合镀层，提供支持；三是在相邻镀膜室、处理室之间，提供一种能够适时开闭的密封门结构，为不同作用的镀膜室和处理室所保持的工艺条件，提供支持；四是提供一种电气控制装置，为连续高效生产提供支持。通过由以上所述四个主要结构组合的本发明，既能镀布一层镀膜的镀层；又能镀布二种不同物质的镀膜的复合镀层；也能镀布二种以上不同物质的镀膜且相互交错的多层复合结构的镀层，从而实现本发明的目的。

基于上述技术构想，本发明实现其目的的技术方案是：

一种多功能磁控溅射连续镀膜机，包括箱体，工件承载车，工件承载车的供电装置，溅射靶，抽真空和通气装置，电气控制装置和总控制器，其创新点在于：

a、所述箱体，由在前过渡真空处理室，第一镀膜室，第二镀膜室和在后过渡真空处理室依次串联组成一整体，且所述各室依次相互贯通；在前过渡真空处理室的入口处和在后过渡真空处理室的出口处，及其所述各室相邻接处，均设有由开闭启动机构驱动开闭的密闭门；

b、所述工件承载车，可在所述箱体内前后往复运动，它包括车架，设在车架底部由包括第一电机在内的传动装置传动的具有4个行走轮和2根行走轮轴的行走机构，分别与车架左、右两侧连接的工件安放架，与工件安放架连接的且沿工件安放架上下布置的若干个由工件承插构件和工件定位构件对称布置组成且可分别与工件两端装接的工件装接副，和由第二电机通过工件承插构件的传动件驱动工件装接副旋转的传动装置；

c、所述工件承载车的供电装置，包括与总控制器电连接，且与箱体底部连接的第一导轨和第二导轨；所述第一导轨和第二导轨，分别与工件承载车的行走机构两侧的行走轮相对应布置；所述行走机构的4个行走轮，分别通过绝缘轴套，与与车架固定连接的行走轮轴转动连接，处于车架两侧的2个行走轮中的1个行走轮，分别与2个电刷构件电连接，电刷构件分别通过倒顺控制开关和控制开关，与第一电机和第二电机电连接；

d、所述溅射靶，是至少2组每组2个溅射靶；所述至少2组每组2个溅射靶，同样设在第一镀膜室和第二镀膜室内；每1组的2个溅射靶，分别对称布置在第一导轨和第二导轨的外侧部位，且分开布置并与箱体底壁连接；溅射靶的工作用电，由总控制器提供；也即是溅射靶与总控制器电连接；

e、所述抽真空和通气装置的第一真空泵，与在前过渡真空处理室管路连接，第二真空泵与第一镀膜室管路连接；第三真空泵与第二镀膜室管路连接，第四真空泵与在后过渡真空处理室管路连接；第一通气管与第一镀膜室管路连接，第二通气管与第二镀膜室管路连接，第三通气管与在后过渡真空处理室管路连接，第四通气管与在前过渡真空处理室管路连接；