[发明专利]等离子清洁机及等离子清洁方法

说明书

技术领域

本发明关于一种等离子清洁机及等离子清洁方法，特别是有关于一种可确认清洁路径的等离子清洁机及等离子清洁方法。

背景技术

在制造显示器(如液晶显示器或等离子显示器)的过程中，常使用等离子清洁(Plasma clean)方式来进行各种端子部或接合面的清洗，例如氧化铟锡(ITO)电极与驱动芯片的接合面、电路板端子以及电极部的清洗等。

目前等离子清洁机的清洁路径没有量化的方法，只能通过目测观察清洁的路径，这存在很大误差；且清洁设备内结构复杂，目测观察不易，造成清洁路径确认更加困难，从而导致清洁调整时间过长、清洁效果不佳。

请参见图1，图1为理想情况下的清洁机工作示意图。以清洁液晶面板12为例，液晶面板12包括上基板121、液晶层122和下基板123，在理想情况下，等离子喷枪11发出的等离子火焰112需要落在下基板123的待清洁区域124内。请结合参见图2A和图2B，图2A和图2B分别为故障情况下的清洁机工作示意图。如图2A所示，等离子火焰112太靠近液晶面板12的内侧，部分火焰甚至落到上基板121上，导致清洁工作故障。如图2B所示，等离子火焰112落在了液晶面板12的外侧，并脱离了待清洁区域124，因此将起不到应有的清洁功效。

发明内容

针对上述技术问题，本发明利用等离子清洁时产生高温，使贴附在待清洁物体上的感温单元受到温度影响而颜色发生变化，来确认清洁路径。

本发明的目的之一在于提供一种等离子清洁机，其包括载具、等离子喷枪、感温单元和调整单元。等离子喷枪籍由等离子火焰清洁由载具送达的待清洁物体。感温单元贴附于待清洁物体，该感温单元沿第一方向经过等离子喷枪时颜色发生变化，并发出调整信号。调整单元分别连接于载具和等离子喷枪，根据调整信号调整该等离子喷枪与该载具于第二方向的相对位置。

根据本发明，感温单元包括带有刻度的感温试纸，该感温试纸在受到大于80摄氏度的温度影响下颜色发生变化。调整信号是利用该感温试纸上的刻度而得到。等离子喷枪产生等离子火焰，该等离子火焰温度大于100摄氏度。

本发明的另一目的在于提供一种等离子清洁方法，利用等离子喷枪清洁待清洁物体，其包含以下步骤：

将感温单元贴附在该待清洁物体上；

该感温单元沿第一方向经过该等离子喷枪时颜色发生变化，根据颜色变化确认清洁路径；

若该清洁路径不合格，调整该等离子喷枪与该待清洁物体于第二方向的相对位置。

根据本发明，该感温单元包括感温试纸，该感温试纸于第二方向具有刻度。感温试纸在受到大于80摄氏度的温度影响下颜色发生变化。根据感温试纸上的刻度调整该等离子喷枪与该待清洁物体的相对位置。待清洁物体上具有待清洁区域，该清洁路径不合格是指该清洁路径不在该待清洁区域内。将待清洁物体放置于载具上，该待清洁物体随该载具移动而调整该待清洁物体与该等离子喷枪于第二方向的相对位置。若清洁路径合格，保持此时待清洁物体与等离子喷枪于第二方向的相对位置，并让该待清洁物体与该等离子喷枪沿第一方向相向移动，完成清洁作业。

通过本发明，可量化等离子清洁机的清洁路径，减少调试确认清洁路径时间，保证了等离子清洁的清洁效果。

附图说明

图1为为理想情况下的清洁机工作示意图；

图2A与图2B分别为故障情况下的清洁机工作示意图；

图3为本发明的等离子清洁机的结构示意图；

图4为本发明一实施例的感温试纸示意图；

图5、图6与图7分别为本发明一实施例的工作原理图；

图8为本发明的等离子清洁方法流程图。

具体实施方式

为使对本发明的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。

本发明提供一种等离子清洁机及等离子清洁方法，下述实施例主要针对液晶面板端子部的清洁，但需要说明的是，本发明并非仅限于此。请参见图3，图3为本发明的等离子清洁机30的结构示意图。等离子清洁机30包括载具33和等离子喷枪31，等离子喷枪31籍由等离子清洁方式清洁由载具33送达的待清洁物体32。等离子喷枪31产生等离子火焰312，在实际应用中，等离子火焰312温度大于100摄氏度。等离子清洁机30还包括感温单元34和调整单元35。