[发明专利]光器件

说明书

技术领域

本发明涉及一种具有相互进行光耦合的一个以上的光出射机构和一个以上的光入射机构的光器件。更详细地说，涉及一种防止在光器件内产生杂散光的技术。

背景技术

这种光器件例如使用硅基板作为基板，通过蚀刻等方法将所需要的要素形成于基板上。接着，在该基板上设置光纤等光波导机构。Japanese PatentApplication Laid Open No.2005-37885(专利文献1)和Japanese PatentApplication Laid Open No.2005-164886(专利文献2)公开了这种光器件的例子。

在专利文献1的图1～图3中记载的光器件为2×2型光开关。该光器件以设置有光纤的四条槽构成十字形的方式形成于基板上。在这些四条槽交叉的交叉部，设于可动杆前端的可动反射镜以能够移动的状态配置。可动杆利用四根铰链能够自由移动地被支承，并被在其中间部分构成的梳齿型静电执行器驱动。根据可动杆的动作，可动反射镜或向交叉部插入或从交叉部拔出。如上所述的可动反射镜的插拔对分别设置于四条槽的光纤之间的光路(光耦合)进行切换。

专利文献2的图14及图15与专利文献1同样地，公开了2×2型光开关。该光器件也是在以构成十字形的方式形成于基板上的四条槽分别设置光纤。可动反射镜向这些四条槽的交叉部的插拔对光路进行切换。

另外，这些专利文献1及专利文献2中记载的光器件中的任一个，在光纤的前端相对于光轴倾斜地进行研磨(形成倾斜端面)。倾斜端面增大在光纤端面的反射衰减量，防止对光源的影响或信号质量的劣化等。

上述专利文献1或专利文献2中记载的插拔光器件的反射镜的空间为光纤设置用的四条槽的交叉部。即，该空间为由光纤的前端面及相对于基板板面而垂直的基板侧壁面包围的空间。光纤配置成其光轴与基板板面平行。另外，光纤前端的倾斜端面和基板板面垂直。因此，从光纤前端面出射的出射光的光轴存在于与基板板面平行的平面内。

光从一个光纤出射到如上所述的光器件内的空间时，与其他光纤不耦合的光(特别是，被设于光路中的反射镜或滤光片等元件的表面、其他光纤的端面等存在于光路中的某种界面反射的光)，被与包围空间的基板板面垂直的面反射，并在与基板板面平行的一平面内反复反射。最终返回到出射源的光纤并进行再耦合而不能得到足够的反射衰减量。

特别是，如专利文献1或专利文献2中记载的光器件那样，当在传播光的空间内存在与基板板面垂直的反射镜面时，由于反射镜面的反射率高，故因杂散光而导致反射衰减特性劣化成为重大问题。

并且，考虑如下情况：例如将在光传播的空间内具有反射镜面的光器件作为MEMS(Micro Electro Mechanical System：微型机电系统)而构成的情况。此时，使用机械掩模(メカマスク)并通过溅射等在反射镜基体的表面成膜金属膜(反射膜)。但是，仅在想要形成反射镜面的面上严密地进行成膜是很困难的，通常会导致在周围也进行成膜。因此，会导致反射镜面所在位置的空间的侧壁面等也形成金属膜。此时的反射衰减特性的劣化成为更重大的问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于实现一种可以防止杂散光向光纤等光出射入射机构侵入且具有优良反射衰减特性的光器件。

本发明的光器件具有：至少在一部分具有壁面的自由空间；朝自由空间出射光束的一个以上的光出射机构；将经过该自由空间而到达的光束入射的一个以上的光入射机构。另外，在壁面的任意部分形成有反射防止机构，该反射防止机构防止照射到该部分的光束向自由空间内反射。

根据本发明，由于可以将杂散光向设备的外部引导或将其吸收而有效除去，故可以防止杂散光向光纤等光出射机构或光入射机构的侵入。因此，可以实现良好反射衰减特性和光的干扰降低的光器件。

附图说明

图1是表示第一实施例的光器件的构成例的平面图；

图2是表示第一实施例的变形例1的光器件的构成例的平面图；

图3是表示第一实施例的变形例2的光器件的构成例的平面图；

图4A是表示第一实施例的变形例3的光器件的构成例的平面图；

图4B是表示第一实施例的变形例3的光器件的放出部结构的剖面图；

图5是表示第二实施例的光器件的构成例的平面图；

图6A是表示第三实施例的光器件的构成例的平面图；

图6B是表示第三实施例的光器件的构成例的剖面图；

图7A是表示用于与插入了第一反射体的状态的第四实施例对比的光器件的结构的平面图；