[发明专利]波形发生器和使用该波形发生器的测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种产生任意波形的波形发生器。

背景技术

测试半导体器件(以下称为被测试器件(Device Under Test：DUT))的测试装置具有产生提供给DUT的任意波形信号的功能(参见专利文献1～4)。

在专利文献2的图6中，公开了一种波形发生器，其具有产生置位脉冲的置位脉冲生成部；产生复位脉冲的复位脉冲生成部；由置位脉冲进行置位、由复位脉冲进行复位的触发器。在该技术中，对置位脉冲生成部和复位脉冲生成部分别设置使频率与基准时钟相同的脉冲信号延迟的多个即L个(L为2以上的整数)可变延迟装置。在多个可变延迟装置中设有不同的延迟量。置位脉冲生成部的多个可变延迟装置的输出被多路化而输入到触发器的置位端子，复位脉冲生成部的多个可变延迟装置的输出被多路化而输入到触发器的复位端子。通过控制各可变延迟装置的延迟量，能够从触发器输出最大具有基准时钟的L倍频率的任意波形信号。

专利文献1：日本特开平10-232271号公报

专利文献2：日本特开平11-304888号公报

专利文献3：日本特开2000-39469号公报

专利文献4：日本特开2006-112873号公报

发明内容

在专利文献2的图6的技术中，各可变延迟装置使频率与基准时钟相同的脉冲信号延迟。因此，无法在1个基准时钟的周期内对同一可变延迟装置设定2次延迟量。

在本说明书中，将该条件称为“接近限制”。在现有的结构中，若违反接近限制则必须无视在同一可变延迟电路中第2次设定的延迟，因此出现无法生成想要的波形，并且信号的比特率(bit rate)低于基准时钟的L倍的问题。

本发明是鉴于这种状况而完成的，其目的之一在于提供一种可防止违反接近限制的产生的波形发生器。

本发明的一个方案涉及波形发生器。一种波形发生器，包括：m个置位用可变延迟电路，各自对基准脉冲信号提供与置位定时信号相应的可变延迟，其中m为2以上的整数；m个复位用可变延迟电路，对基准脉冲信号施加与复位定时信号相应的可变延迟；触发器，通过被多路化了的上述m个置位用可变延迟电路的输出信号而被置位，通过被多路化了的上述m个复位用可变延迟电路的输出信号而被复位；以及波形整形器，按预定周期将定时设定数据以n个为一组进行接受，分配给上述m个置位用可变延迟电路和上述m个复位用可变延迟电路，其中，上述定时设定数据包含表示要生成的输出信号的正沿的定时置位定时信号和表示负沿的定时的复位定时信号的任意组合，并且n为2以上的整数。上述整形器包括：分类部，根据上述n个定时设定数据分别表示的定时的顺序分类该n个定时设定数据；开放处理部，参照分类出的n个上述定时设定数据，检测置位定时信号的连续或复位定时信号的连续，使连续的置位定时信号的一方无效，使、连续的复位定时信号的一方无效；以及边沿分配部，从上述m个置位用可变延迟电路中直至当前的使用次数最低者开始依次分配未被无效而余留的置位定时信号，将从上述m个复位用可变延迟电路中直至当前的使用次数最低者开始依次分配未被无效而余留的复位定时信号。

根据该方案，通过使连续的相同边沿无效，从而确保可变延迟电路的资源，进而，通过将置位定时信号、复位定时信号从使用次数低的可变延迟电路开始分配，从而能够防止违反接近限制的产生。

边沿分配部可以将未被无效而余留的置位定时信号从第1置位用可变延迟电路至第m置位用可变延迟电路依次循环分配，将未被无效而余留的复位定时信号从第1复位用可变延迟电路至第m复位用可变延迟电路依次循环分配。

通过循环使用多个可变延迟电路，来使各延迟电路的使用次数均等地各增加1个，因此能够始终对使用次数最小的延迟电路分配置位(/复位)定时信号。

本发明的其他方案为一种测试装置。该测试装置具有上述波形发生器。

另外，以上结构要素的任意组合、本发明的结构要素、表现在方法、装置、系统等之间相互置换而得到的方式作为本发明的方式也是有效的。

根据本发明的方式，能够防止违反接近限制的产生。

附图说明

图1是表示实施方式的测试装置的结构的框图。

图2是表示由延迟电路进行的数据转换的情况的图。

图3是表示图1的波形整形器的结构的框图。

图4是表示图3的波形整形器的具体结构例的电路图。

图5是表示图4的译码器的结构例的电路图。

图6是图1的波形整形器的状态转变图。

图7是表示图1的波形发生器的工作的时序图。