[发明专利]扫描显微镜和对样品成像的方法无效
| 申请号： | 200880122310.3 | 申请日： | 2008-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101903820A | 公开（公告）日： | 2010-12-01 |
| 发明（设计）人： | S·斯托林加;B·胡什肯 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王英;刘炳胜 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 显微镜 样品 成像 方法 | ||
1.一种利用扫描显微镜对样品(26)成像的方法，包括以下步骤：
-开始探测器(34)的曝光阶段；
-在所述探测器上生成所述样品的光学图像；以及
-终止所述曝光阶段；
其中，生成所述光学图像的步骤包括以下步骤：
-移置在所述探测器上的所述光学图像。
2.如权利要求1所述的方法，其中，移置所述光学图像的步骤包括以下步骤：
-沿直线或沿圆弧或沿闭合线移置在所述探测器上的所述光学图像。
3.如权利要求1所述的方法，其中，移置所述光学图像的步骤包括以下步骤：
移动位于从所述样品(26)到所述探测器(34)的光学路径上的反射镜(40)。
4.如权利要求1所述的方法，其中，生成光学图像的步骤包括以下步骤：
-同时在所述样品(26)中生成第一光斑(1)和第二光斑(2)；
并且其中，移置所述光学图像的步骤的进一步特征在于：所述第一光斑在所述探测器(34)上生成第一轨迹(71)并且所述第二光斑在所述探测器(34)上生成第二轨迹(72)，其中使得所述第一光斑的所述轨迹与所述第二光斑的所述轨迹不交叉。
5.如权利要求1所述的方法，其中，生成光学图像的步骤包括以下步骤：
-使用光脉冲照射所述样品(26)。
6.一种用于扫描显微镜的成像系统，所述成像系统包括：
-探测器(34)；
-透镜系统(32)，其用于在所述探测器上生成样品(26)的光学图像；以及
-图像移置装置，其用于在所述探测器的曝光阶段期间移置在所述探测器上的所述光学图像。
7.如权利要求6所述的成像系统，其中，所述图像移置装置包括位于从所述样品(26)到所述探测器(34)的光学路径上的可旋转反射镜(40)。
8.如权利要求7所述的成像系统，其中，所述反射镜的旋转轴(44)与所述反射镜的光轴(42)彼此以直角相切。
9.如权利要求7所述的成像系统，其中，所述反射镜的旋转轴(44)和所述反射镜光轴(42)彼此以小于5°的正角相切。
10.一种扫描显微镜，包括如权利要求8所述的成像系统。
11.如权利要求10所述的扫描显微镜，还包括用于生成聚焦在所述样品中的光斑阵列的装置。
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