[发明专利]包括气体供应部和用于补偿由所供应的气体传递的力的补偿单元的、用于激光加工机器的加工头

权利要求书

1.一种加工头(10)，所述加工头(10)用于激光加工机器(1)，所述激光加工机器(1)用于利用激光束(5)加工工件(2)，所述加工头(10)包括：

聚焦光学器件(25)，所述聚焦光学器件聚焦所述激光束；

用于移动和/或调节所述聚焦光学器件(25)的驱动装置(40)，所述驱动装置被设计成流体驱动部(40)；

用于至少一种加压气体的至少一个供应部(90，62，60，63；95，72，70，73)，所述供应部包括用于相应的气体的至少一个出口开口(63；73)，其中气体能够被导引至相应的出口开口(63；73)，并且能够作为气态流(64；74)从所述供应部、通过相应的出口开口被引入接界所述聚焦光学器件(25)的区域(65，75)中；

至少一个补偿单元(60，61.1；70，71.1)，所述补偿单元补偿能够由相应的气态流传递到所述聚焦光学器件(25)的力；

所述补偿单元(60，61.1；70，71.1)包括气体腔室(60；70)和活塞表面(61.1；71.1)，所述气体腔室能够充满相应的气体，所述活塞表面能够被相应的气体撞击并且所述活塞表面被刚性连接到所述聚焦光学器件；

其中，所述活塞表面(61.1；71.1)布置成使得通过能够由相应的气体而传递到所述活塞表面(61.1；71.1)的力完全地或者部分地补偿能够由相应的气态流(64；74)而传递到所述聚焦光学器件(25)的力；并且

所述气体腔室(60；70)集成于所述供应部(90，62，60，63；95，72，70，73)中，使得所述气体腔室(60；70)能够充满气体，该气体通过所述气体腔室(60；70)中的至少一个进口开口(62，72)被导引至相应的出口开口，其中，在经过相应的进口开口之后，所述气体必须流动通过所述气体腔室(60；70)以到达相应的出口开口(63；73)；并且所述气体腔室(60；70)设计成与所述激光束的传播方向(5.1)是同心的，并且能够被所述气体撞击的所述活塞表面(61.1；71.1)包括环的形状，所述环相对于所述激光束(5)的传播方向(5.1)是同心的，

其特征在于

所述供应部(95，72，70，73)的相应的出口开口(73)布置成使得相应的气态流能够被引入到在所述激光束(5)的入射端上接界所述聚焦光学器件(25)的区域(75)。

2.根据权利要求1的加工头(10)，其中所述供应部(90，62，60，63)的相应的出口开口(63)布置成使得相应的气态流(64)能够被引入到在所述激光束(5)的出射端上接界所述聚焦光学器件(25)的区域(65)。

3.根据权利要求2的加工头(10)，其中所述气体是工艺气体，为了影响由激光束引发的、所述激光加工机器的加工工艺，所述工艺气体能够被引入到所述区域(65)。

4.根据权利要求1到3中任一项的加工头，其中相应的出口开口(63；73)布置在距所述聚焦光学器件(25)的预定距离处，使得如果所述聚焦光学器件移动或者移位，则所述出口开口相对于所述聚焦光学器件的空间布置不能改变。

5.根据权利要求1到4中任一项的加工头，其中所述加工头(10)包括静止部分(11)和可互换的替换模块(20)，所述替换模块(20)能够作为整体从所述静止部分(11)分离；并且

所述替换模块包括所述聚焦光学器件(25)和相应的补偿单元(60，61.1；70，71.1)。

6.根据权利要求5的加工头，其中所述驱动装置(40)包括至少一个从动部分(41.1；42.1)；并且

所述替换模块(20)包括所述驱动装置(40)的相应的从动部分(41.1；42.1)。

7.一种激光加工机器，所述激光加工机器包括根据权利要求1到6中任一项的加工头。