[发明专利]缓蚀剂无效
| 申请号： | 200880112431.X | 申请日： | 2008-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN101878326A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | B·O·米沃尔德;K·桑德森格里特兰德;T·斯达洛;R·布瓦普;B·赛尔杰巴肯克劳森;G·E·弗雷德海姆 | 申请（专利权）人： | 挪威宝丽格工业有限公司 |
| 主分类号： | C23F11/12 | 分类号： | C23F11/12 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 吴晓萍;钟守期 |
| 地址： | 挪威萨*** | 国省代码： | 挪威;NO |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 缓蚀剂 | ||
【权利要求书】：
1.二元醇或三元醇或者二元醇和/或三元醇的混合物作为有机或无机酸或酸的混合物的缓蚀剂的用途。
2.权利要求1的用途，其中所述二元醇或三元醇或其混合物构成总混合物的10-90％。
3.权利要求1和2的用途，其中所述三元醇为丙三醇且所述二元醇为乙二醇。
4.权利要求1至3的用途，其中所述混合物包含其它缓蚀剂。
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