[发明专利]用于带状晶拉晶炉的可移除热控制

权利要求书

1.一种带状晶拉晶炉，包括：

基座绝热体；和

衬里绝热体，所述衬里绝热体以可移除方式连接到所述基座绝热体，其中，所述衬里绝热体的至少一部分形成用于容纳坩埚的内部。

2.如权利要求1所述的带状晶拉晶炉，其中，所述衬里绝热体包括石墨。

3.如权利要求1所述的带状晶拉晶炉，其中，所述衬里绝热体包括碳泡沫材料。

4.如权利要求1所述的带状晶拉晶炉，其中，所述基座绝热体包括陶瓷材料。

5.如权利要求1所述的带状晶拉晶炉，其中，形成所述基座绝热体的材料的化学属性和结构均不同于形成所述衬里绝热体的材料。

6.如权利要求1所述的带状晶拉晶炉，其中，所述基座绝热体由与所述衬里绝热体相同的材料形成。

7.如权利要求1所述的带状晶拉晶炉，进一步包括坩埚，所述衬里绝热体的至少一部分定位在所述坩埚附近。

8.如权利要求1所述的带状晶拉晶炉，进一步包括坩埚，所述衬里绝热体的至少一部分定位在所述坩埚下方。

9.如权利要求1所述的带状晶拉晶炉，进一步包括定位在所述基座绝热体和所述衬里绝热体上方的后热器，所述后热器由所述基座绝热体支撑。

10.一种带状晶生长方法，包括：

设置基座绝热体；并且

将衬里绝热体以可移除方式连接到所述基座绝热体，其中，所述衬里绝热体的至少一部分形成用于容纳坩埚的内部。

11.如权利要求10所述的方法，其中，所述衬里绝热体包括石墨。

12.如权利要求10所述的方法，其中，所述衬里绝热体包括碳泡沫材料。

13.如权利要求10所述的方法，其中，所述基座绝热体包括陶瓷材料。

14.如权利要求10所述的方法，其中，形成所述基座绝热体的材料的化学属性和结构均不同于形成所述衬里绝热体的材料。

15.如权利要求10所述的方法，其中，所述基座绝热体由与所述衬里绝热体相同的材料形成。

16.如权利要求10所述的方法，进一步包括：

设置坩埚，将所述衬里绝热体的至少一部分定位在所述坩埚附近。

17.如权利要求10所述的方法，进一步包括：

设置坩埚，将所述衬里绝热体的至少一部分定位在所述坩埚下方。

18.一种使带状晶生长的方法，所述方法包括：

设置具有坩埚的炉，所述坩埚具有多个线孔，所述炉还具有基座绝热体，所述基座绝热体具有以可移除方式连接的第一衬里；

将熔融材料添加到所述坩埚；并且

将线穿过所述线孔和所述熔融材料，以生长出带状晶。

19.如权利要求18所述方法，进一步包括：

移除所述第一衬里；并且

以可移除的方式将第二衬里连接到所述基座绝热体。

20.如权利要求18所述的方法，其中，所述衬里绝热体包括石墨或碳泡沫材料。

21.如权利要求18所述的方法，其中，所述基座绝热体包括陶瓷材料。

22.如权利要求18所述的方法，其中，所述基座绝热体由与所述衬里绝热体相同的材料形成。

23.如权利要求18所述的方法，其中，所述衬里绝热体的至少一部分定位在所述坩埚附近。

24.如权利要求18所述的方法，其中，所述衬里绝热体的至少一部分定位在所述坩埚下方。