[实用新型]300mm立式氧化炉石英舟

说明书

技术领域

本实用新型属于一种硅片加工装置，具体的是一种用于硅片加热氧化工艺的氧化炉中的石英舟，该石英舟用于支撑装载硅片，送入氧化炉内进行工艺处理。

背景技术

硅片是一种重要的半导体材料，它的加工工艺，特别是氧化工艺对硅片的装载器具材料、结构要求非常独特的。目前国内设计的氧化炉大多是卧式结构的，石英舟的设计也是为卧式结构。但对于300mm的硅片氧化工艺来讲，卧式炉已无法满足其要求。国际上立式氧化炉已经非常成熟，石英舟结构也五花八门。本专利设计的支撑硅片的石英舟的结构更加完善。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧化炉石英舟，该石英舟设计完善合理，保障硅片的工艺效果好。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：300mm立式氧化炉石英舟，其特征在于：设有支撑杆、加强筋、石英底板、石英顶板；所述支撑杆设有四根，竖向垂直固定在所述石英底板和石英顶板之间，其相互间隔地设置，该间隔方便硅片取放；在该支撑杆上横向设有支撑硅片的支撑齿；在支撑杆之间，横向设有加强筋；在所述石英底板的底面设有与氧化炉保温桶联结的卡齿。

本实用新型具有以下优点：

1.石英舟采用四杆支撑，四点支撑硅片更有效的承载硅片，减少了硅片因受热变形产生的应力。

2.石英舟共有多个加强筋，固定并支撑着支撑杆，使其更加牢固，能够有效、准确地承载硅片。

3、石英底板下面设置的卡齿使石英底板与石英保温桶准确定位，保证石英舟在氧化炉的反应管内处于正确的位置，完成承载硅片进行工艺的作用。

附图说明

图1是本实用新型的仰视结构示意图；

图2是本实用新型的左侧支撑杆结构示意图；

图3是图5中A-A视图；

图4是本实用新型的右侧支撑杆结构示意图；

图5是本实用新型的俯视结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明：实施例：参见附图，300mm立式氧化炉石英舟，设有支撑杆1、加强筋2、石英底板3、石英顶板4；所述支撑杆设有四根，左侧2根，右侧2根，竖向垂直固定在所述石英底板和石英顶板之间，其相互间隔地设置，前面左、右两根间隔大于硅片直径，该间隔方便硅片取放，在该支撑杆上横向设有支撑硅片的支撑齿1.1；在支撑杆之间，横向设有加强筋，左侧2根上设5根，右侧2根上设5根；在所述石英底板的底面设有与氧化炉保温桶联结的3个卡齿4.1。