[实用新型]非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备及其工件夹具

权利要求书

1.一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备工件夹具，所述的工件夹具包括框形的底板，在框形底板的端梁和侧梁上安装有二维定位机构，所述的二维定位机构包括3个固定定位点和3个气缸夹紧点，其特征在于，第一固定定位点固定在夹具底板的一个端梁上，第一气缸夹紧点沿Y轴方向对应第一固定定位点设置底板的另1个端梁上；第二固定定位点和第三固定定位点分别固定在底板的1个侧梁上，第二气缸夹紧点和第三气缸夹紧点沿X轴方向分别对应第二固定定位点和第三固定定位点设置在底板的另1个侧梁上；其中，第三固定定位点是纠偏调节定位点。

2.根据权利要求1所述的工件夹具，其特征在于，所述的第一固定定位点和第一气缸分别安装在2个垂直升降气缸上，所述的2个垂直升降气缸分别固定在底板的2个端梁上。

3.根据权利要求2所述的工件夹具，其特征在于，所述的框形底板为曰字形，曰字形底板的两侧梁和与侧梁平行的中梁上安装有复数个支承工件的支撑柱，支撑柱的顶面位于同一平面上，曰字形底板的两侧梁上装有工件导向柱。

4.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的工件夹具，其特征在于，所述的纠偏调节定位点，用伺服电机驱动，精密丝杆传动。

5.一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备，包括X轴运动系统、Y轴运动系统、Y轴机座、工件夹具、机座、光路系统和计算机工控系统，其特征在于，所述的工件夹具是权利要求1所述的工件夹具，所述的X轴运动系统安装在机座上，Y轴机座通过立柱安装在机座的上方；Y轴运动系统安装在Y轴机座的下面，工件夹具以悬挂方式安装在Y轴运动系统的下面，所述的光路系统包括CCD定位系统和激光切割头，位于工件夹具的下方并分别安装在X轴运动系统上，CCD定位系统采集的定位数据传送给计算机工控系统，由计算机工控系统对工件夹具的纠偏调节定位点进行控制。

6.根据权利要求5所述的非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备，其特征在于，包括进料系统和出料系统，所述的进料系统包括进料机架、进料传送组件和进料升降组件；所述的进料传送组件和进料升降组件沿Y轴方向串联地安装在进料机架上，进料升降组件从Y轴机座的一侧伸入到Y轴机座的下方；所述的出料传送组件和出料升降组件沿Y轴方向串联地安装在出料机架上，出料升降组件从Y轴机座的另一侧伸入到Y轴机座的下方。

7.根据权利要求6所述的非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备，其特征在于，所述工件夹具的主体是曰字形的底板，曰字形的底板的两侧梁和中梁上安装有复数个支承工件的支撑柱，支撑柱的顶面位于同一平面上；所述的进料升降组件和出料升降组件的主体部分的下方均装有气缸，进料升降组件和出料升降组件的主体部分在气缸的作用下垂直升降；所述的进料升降组件和出料升降组件的主体部分各包括2套并列的传送带，传送带沿Y轴方向传输工件；当工件夹具在Y轴运动系统的带动下移动到进料升降组件或出料升降组件的正上方时，进料升降组件或出料升降组件2套并列的传送带在气缸的作用下进入工件夹具的主体曰字形的底板中的空档，传送带的工作平面高出工件夹具底板支撑柱的上平面，并与进料传送组件和出料传送组件的工作平面齐平。

8.根据权利要求5至7中任一权利要求所述的非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备，其特征在于，所述光路系统包括左CCD定位系统、右CCD定位系统、左切割头和右切割头；左切割头和右切割头沿X轴方向分别安装在X轴运动系统上，左CCD定位系统和右CCD定位系统分别固定在左切割头和右切割头上。

9.根据权利要求8所述的非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备，其特征在于，所述X轴运动系统包括用于调节左切割头和右切割头间距的双头间距调节装置，其中1个切割头安装在双头间距调节装置上。

10.根据权利要求8所述的非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备，其特征在于，所述光路系统包括激光器和将激光器发出的激光束分别引导到所述左切割头和右切割头的双路传导系统，所述激光器为波长是532nm的固体激光器，Y轴运动系统采用直线电机驱动，X轴运动系统采用伺服电机带动，高精密丝杆副传动，光栅尺反馈。