[实用新型]带有研磨盘冷却机构的平面研磨机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种平面研磨机，特别是涉及一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机。

背景技术

在研磨晶片等薄脆零件过程中，研磨盘和工件的局部接触区域往往会出现高温，有时甚至可达几百度。局部的高温不但会烧伤零件的表面，形成加工变质层，而且会引起零件的局部变形，进而影响其面形精度。

为消除研磨过程产生的热量所带来的负面影响，比较精密的高速固着磨料研磨机都使用冷却系统来对研磨盘进行冷却，比较具有代表性的研磨机型有西安秦川(集团)发展总公司生产的PJM320B平面精磨机和南京仪机股份有限公司生产的PLM-400精磨抛光机。PJM320B平面精磨机的冷却液由冷却泵从冷却液箱中吸出，经塑料管送到机床前面冷却液控制旋钮，被分为两路，一路由塑料管从床身内腔进入摆轴中心孔穿轴而出，接在气缸压头的管接头上，通过压头球头内孔喷出，为上内喷；另一路由塑料管穿过上、下床身，进入主轴下端管接头，由主轴内孔及磨盘上的多个小孔同时喷出为下内喷。概括起来，其冷却方式即为“上内喷”和“下内喷”。

但在游离磨料研磨机中，这种上下内喷的冷却方式却无法应用，因为持续喷出的冷却液同时会冲走游离态的研磨磨料，使研磨加工过程无法进行下去。因此，一般的游离磨料研磨机都没有研磨盘冷却系统。为了稳定加工中的环境温度，市场上精度比较高的游离磨料研磨机一般都要求在配有空调系统的环境中使用，但是，空调系统只能保证外界的温度恒定，对研磨盘与工件接触面上的局部高温区却无能为力。

因此，如何解决游离磨料研磨时局部高温研磨区的冷却问题，便成了一个很现实的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机，以解决前述问题。

为达到上述目的，本实用新型的解决方案是：一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机，包括研磨盘4，主轴10，机座8，所述机座8安装在主轴10上，工件3的被加工面平置于研磨盘4上表面，研磨盘4放置在研磨盘支撑板5上，研磨盘支撑板5连接主轴10并在主轴10的带动下围绕主轴轴线旋转，夹具2夹持工件3，压头1压住夹具2；所述的平面研磨机还有对研磨盘4冷却的研磨盘冷却机构，该研磨盘冷却机构包括：一研磨盘支撑板5，一循环盘7，密封圈6，接头9、水嘴L1～L4；循环盘7固联于机座8的上表面，研磨盘支撑板5与循环盘7固联，接头9固联于机座8的下部凸台之上，上述两两联接件间均置有密封圈；水嘴的一端分别与接头相联。

上述研磨盘支撑板5下表面开有贯通的沟槽5X。

上述循环盘7下端面开有一大环形槽7a，大环形槽7a的下面又开有一小环形槽7b，循环盘圆柱面上钻有一盲孔7c，其上端面还分别钻有一通孔7d和一盲孔7e，其中该通孔7d底部与大环形槽7a贯通，上端面钻有的盲孔7e与圆柱面上钻有的盲孔7c相贯通。

上述机座8上端面开有四通孔H1～H4，并开有一环型槽8a，其中两通孔H1、H4与该环型槽8a相贯通，另两通孔H2、H3与循环盘7下端面开有的小环形槽7b贯通。

上述水嘴L1～L4另一端分别接冷却液管道。

上述研磨盘支撑板下表面开有同心圆环状的沟槽5a～5f，各沟槽由一矩状沟槽5g相贯通。

上述研磨盘支撑板下表面开有放射状的沟槽5A～5H，各沟槽以大小两个同心环状沟槽5I及5J相贯通。

所述的四个通孔用于冷却液的循环，注入冷却液的顺序可自由选择，冷却液流量亦可自由选择。

本实用新型提供的带有研磨盘冷却机构的平面研磨机有益效果是其冷却回路不经过研磨盘表面，冷却液不会冲走研磨液，故不会影响游离研磨加工过程，流经研磨盘底的冷却液能及时的带走研磨盘各区域积聚的热量，故能起到很好的冷却效果。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的机座结构示意图；

图3是本实用新型第1实施例的研磨盘支撑板结构示意图；

图4是本实用新型的循环盘反面结构示意图；

图5是本实用新型的循环盘正面结构示意图；

图6是本实用新型第2实施例的研磨盘支撑板结构示意图；

图7是本实用新型第3实施例的研磨盘支撑板结构示意图。

具体实施方式

实施列1

请参阅图1、2，本实用新型一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机，包括研磨盘4，主轴10，机座8，还包括：可对研磨盘进行冷却的研磨盘底内冷却机构。