[实用新型]一种层流洁净室

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种洁净室，具体涉及一种层流洁净室，可应用于电子工业、精密机械工业、制药工业等高科技行业中。

背景技术

洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室，是指在一定空间范围内将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物减少到规定指标以下，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而特别设计的房间。即不论外在空气条件如何变化，其室内均能维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能。现主要应用于电子工业、精密机械工业、制药工业等高科技行业中。

层流洁净室，是洁净室中的一种，其室内的空气气流运动成一均匀直线型，其洁净度要求相对其他类型的洁净室更高。我国1984年年底发布了《洁净厂房设计规范》(GBJ73-85)，其空气洁净度划分等级最高为100级，是唯一一种层流洁净室。而随着科技的发展，特别是大规模、超大规模集成电路工业的发展，洁净度等级100级已不能满足生产的需要。因此，我国在2001年11月最新发布了《洁净厂房设计规范》(GB50073-2001)，新定义了Class5～Class 1级的五种层流洁净室，其中Class 5级洁净室即为原来的100级层流洁净室。新规范指出，Class 5级洁净室每立方米空气中的悬浮粒子中，0.5μm的不能超过3520颗，0.3μm的不能超过10200颗，0.1μm的不能超过1×10⁵颗，相应地，洁净度级别越高，要求每立方米空气中的悬浮粒子越少。因此，层流洁净室的密封要求是很高的，一旦有泄漏，就会对洁净度产生严重的影响。

现有的层流洁净室如附图2所示，在洁净空间1顶部设置框架2，框架2上满布有高效过滤器7，利用组合式净化空调器3对高效过滤器以上的静压箱4进行送风，空气经过高效过滤器7过滤后进入洁净空间1，再通过地板上的开孔进入回风通道5，最后一起回收至组合式净化空调器3的进气口以重新利用，形成气流循环。

然而，上述结构的洁净室存在如下问题：由于洁净室的空气是利用组合式净化空调器送入静压箱，通过形成一定的气压以克服高效过滤器的阻力将空气压入洁净室内，而高效过滤器在使用过程中，由于吸附了气流中的微粒，其阻力会逐渐增大，直至达到设计终阻力后进行更换，因此在组合式净化空调器的设计过程中，其出风压头必须大于高效过滤器的终阻力，以保证洁净室的正常运行；因此，在空调器正常送风时，静压箱中的压力较大，一般向下正压保持在500Pa以上，因而一旦框架本身及其与高效过滤器之间出现缝隙，静压箱中的空气将不经高效过滤器而直接进入洁净室，严重影响洁净室的洁净度；因此，现有的洁净室对框架本身及其与高效过滤器的接触处的密封要求很高，这不仅大大提高了框架的制作成本，也增加了安装高效过滤器的施工难度。

发明内容

本实用新型目的是提供一种层流洁净室，通过结构改进，降低对框架与高效过滤器间的密封要求，以减少制作成本，降低施工难度。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种层流洁净室，包括一洁净空间、组合式净化空调器和设置在洁净空间顶部的框架，所述组合式净化空调器的出风口与框架上方的负压空间的顶部连通，组合式净化空调器的进风口与洁净空间外侧的回风通道连通，所述框架上配合布满风机过滤机组。

上文中，所述风机过滤机组，其英文全称为Fan Filter Unit(FFU)，是现有技术；所述在框架上布满FFU，可以是同一型号或不同型号的FFU。

进一步的技术方案，所述洁净空间内设置有复数个风速计，其输出经控制电路连接风机过滤机组的控制装置。一般情况下，布设在框架上的复数个FFU是统一控制的，此时，将复数个风速计安装在多个测量点，根据测得的平均风速值来统一控制FFU的转速，达到保持风速恒定的目的；当然，FFU也可以实现区域化控制，即可以根据每个区域内的风速计测定值来调节区域FFU的转速，这样效果更好。但两者的目的都是一样的，即维持整个洁净室内的气速恒定。

上述技术方案中，所述负压空间的侧壁上设有通孔，使负压空间与回风通道连通。这使得从洁净室出来的回风可以成为进风的一部分，从而大大降低了组合式净化空调器的输出功率，节约了能源。