[实用新型]带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双层视镜

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能光伏技术领域，尤其涉及多晶硅制造设备中的视镜，特别是一种带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双层视镜。

背景技术

还原炉和氢化炉是多晶硅制备的关键设备，为了能随时监测设备内部的生产工况，需要在设备上设置一个或多个视镜。目前，常用视镜的结构相对简单，主要包括上、下法兰、视镜玻璃，视镜玻璃夹持在上下法兰之间靠法兰螺栓的拧紧力固定。还原炉和氢化炉都是带夹套设备，还需设置引出管连接视镜和设备本体。引出接管分别与设备筒体和夹套筒体焊接，另一端与下法兰焊接在一起。由于设备内部反应温度很高，引出接管受热后产生膨胀，周期性的膨胀收缩会造成引出接管与夹套筒体处焊缝发生疲劳破坏。设备内部反应产生的多晶硅颗粒或其他结晶状颗粒很容易附着在视镜玻璃的内表面上，如果得不到及时清理，从视镜就不能观察设备内部的情况，失去了其应有的作用。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种带波纹管热补偿结构多晶硅设备双层视镜，所述的这种带波纹管热补偿结构多晶硅设备双层视镜要解决现有技术中还原炉和氢化炉的内筒体和夹套温差过大而导致视镜引出接管受热膨胀、造成引出接管与夹套筒体处焊缝发生疲劳破坏的技术问题，同时还要解决现有技术中视镜玻璃不能及时清理的技术问题。

本实用新型的这种带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双层视镜包括上法兰、下法兰和内接管，其中，所述的内接管的一端通过焊接结构连接有一个异型锻件管，所述的异型锻件管呈圆锥管状，异型锻件管的小直径端与内接管连接，内接管的另一端通过焊接结构连接有一个连接短节，所述的连接短节呈圆柱管状，所述的下法兰套设在连接短节的外圆周上，下法兰与连接短节通过焊接结构固定连接，内接管的外周套设有一个波纹管，内接管的外壁与所述的波纹管的内壁之间设置有间隙，波纹管的一端与下法兰的下端面固定连接，波纹管的另一端上固定设置有一个环状凸缘，下法兰的上侧设置有一个中间法兰，所述的上法兰设置在所述的中间法兰的上侧，下法兰、中间法兰和上法兰通过紧固螺栓固定，下法兰和中间法兰之间设置有一个第一视镜玻璃，中间法兰和上法兰之间设置有一个第二视镜玻璃。

进一步的，所述的波纹管的一端固定设置有一个连接环，所述的连接环通过焊接结构与下法兰的下端面连接。

进一步的，下法兰的内圆周壁中设置有一个环形凹槽，下法兰的侧壁中沿径向设置有一个介质气进口，所述的介质气进口与所述的环形凹槽内空腔连通，所述的连接短节上沿圆周设置有一个以上数目的斜孔，任意一个所述的斜孔均连通环形凹槽内空腔和连接短节的内腔，任意一个斜孔的方向均指向所述的第一视镜玻璃。

进一步的，所述的中间法兰的侧壁中设置有一个冷却水进口和一个冷却水出口，所述的冷却水进口和冷却水出口分别与第一视镜玻璃和第二视镜玻璃之间的间隙连通。

进一步的，所述的冷却水进口的轴向和冷却水出口的轴向位于中间法兰的径向方向上。

本实用新型的工作原理是：将异型锻件管的大直径端焊接在还原炉或者氢化炉的设备筒体上，波纹管通过其一端的环状凸缘焊接在还原炉或者氢化炉的夹套筒体上。波纹管和内接管之间的空隙内填充夹套内的冷却水。当还原炉和氢化炉工作时，和设备相连接的内接管受热，波纹管和内接管之间的冷却水对内接管进行冷却。同时，由波纹管吸收内接管的热膨胀。当反应产生的多晶硅颗粒或其他结晶状颗粒附着在视镜玻璃的内表面时，可以通过介质气进口喷入参与反应的介质气体进行冲洗，节省了设备停车清洗视镜玻璃的时间，实现了对视镜玻璃进行在线清洗。通过中间法兰上的冷却水进口和冷却水出口，可以对第一视镜玻璃和第二视镜玻璃进行冷却清洗，而且两层视镜玻璃具有更好的防爆功能。

本实用新型和已有技术相比，其效果是积极和明显的。本实用新型在内接管外套设波纹管，利用波纹管与内接管之间的环状空隙填充冷却水，对内接管进行冷却，利用波纹管吸收内接管的热膨胀。避免了温度变化对夹套筒体的影响，从而保证设备的安全运行。本实用新型在内接管的一端连接了介质气冲洗装置，可以有效在线冲洗视镜玻璃的内表面，节省了设备停车清洗视镜玻璃的时间。在第一视镜玻璃和第二视镜玻璃之间设置了冷却水通道，可以对第一视镜玻璃和第二视镜玻璃进行冷却清洗，而且两层视镜玻璃具有更好的防爆功能。

附图说明

图1是本实用新型的带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双层视镜结构示意图。