[实用新型]双层导轨式隧道烤炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体元器件的烘烤加工机械，尤其涉及一种半导体元器件树脂固化成型的自动烘烤隧道炉。

背景技术

烤炉是电子五金烘烤设备中最常用到的一种非标烘烤设备，它作为现代工业电子制造的辅助设备，有着极为重要的作用。随着半导体元器件在全球现代工业应用范围内不断扩大，面对商机的生产半导体元器件的厂家相继成立，但由于原来落后的半自动设备已经远达不到厂家现有的产量、质量和效率的要求，市场仍然供不应求。

在市场上目前应用的各种隧道烤炉中，都是单层隧道炉，最短炉身长都在五米以上，且一端进料一端出料。具有占地空间大，操作人员需两地来回工作。单层隧道炉的支撑导轨多采用平板或链条，这样因材料盘底部与支撑导轨接触面过大，增加了磨擦力，加大了推动件的负荷，在传送过程中存在因磨擦力大形成挤压造成推翻，推斜的事故隐患。

因此，必须研发一款高质量、高效率、低耗能、占地空间小、操作简单的自动烘烤设备。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于：克服了现有的半导体元器件树脂固化烘烤机械的占地空间大、固化效果差、传送存在隐患、操作不方便的缺陷，提供一种占地空间小、结构简单、操作易懂、能同时提高生产效率、保证生产质量的自动烘烤隧道炉。

为了解决上述技术问题，本实用新型提出以下技术方案：一种双层导轨式隧道烤炉，其包括一烘烤隧道、一上层导轨、一下层导轨、一转换机构、一推料机构，该烘烤隧道的前端是一供装有待烘烤的产品的送料盘进入的进口端，该烘烤隧道的后端是一密闭的封闭端，该烘烤隧道内部具有一烘烤空间；该上层导轨包括固定在该烘烤空间内靠上部的若干根上导轨，该若干上导轨的高度相同，该若干上导轨是圆轴；该下层导轨包括固定在该烘烤空间内靠下部的若干根下导轨，该若干下导轨的高度相同，该若干下导轨是圆轴；该转换机构包括一可上下运动的托盘板，该托盘板水平地安装在该烘烤隧道的烘烤空间中，该托盘板的最高点位置低于该若干上导轨的位置，该托盘板的最低点位置低于该若干下导轨的位置；该推料机构包括一可前后运动的推料板，该推料板安装在该烘烤隧道的烘烤空间中，其最靠后位置位于该托盘板运动到最低点位置的靠后侧；该托盘板升上去接住从上层导轨被推来的送料盘，然后降下来搁在下层导轨上，该推料板将该送料盘向进口端推动，托盘板再次升上去接住下一个送料盘。

上述技术方案的进一步改进在于：该上层导轨包括一固定在该烘烤空间内左上部的左上导轨、一固定在该烘烤空间内右上部的右上导轨。

上述技术方案的进一步改进在于：该左上导轨的左上侧安装有一左上导向定位导轨，在该右上导轨的右上侧安装有一右上导向定位导轨，该左上导向定位导轨、右上导向定位导轨是圆轴。

上述技术方案的进一步改进在于：该下层导轨包括一固定在该烘烤空间内左下部的左下导轨、一固定在该烘烤空间内右下部的右下导轨。

上述技术方案的进一步改进在于：在该左下导轨的左上侧安装有一左下导向定位导轨，在该右下导轨的右上侧安装有一右下导向定位导轨，该左下导向定位导轨、右下导向定位导轨是圆轴。

上述技术方案的进一步改进在于：该转换机构还包括一转换气缸装置、若干根导向轨、若干侦料感应装置；该若干根导向轨竖直地安装在该转换气缸装置的上方，并穿入到该烘烤隧道的烘烤空间中，该转换气缸装置带动该若干根导向轨上下运动；该托盘板固定安装在该若干导向轨的顶端，该托盘板水平地安装在该烘烤隧道的烘烤空间中，并可随着该若干根导向轨上下运动；该侦料感应装置安装在该烘烤隧道的封闭端的后端机壳上，送料盘完全到达该托盘板上时该侦料感应装置得到感应。

上述技术方案的进一步改进在于：该侦料感应装置包括一连杆、一感应探头、一侦料传感器；该连杆穿透过该烘烤隧道封闭端后端机壳，其前端位于该烘烤隧道的烘烤空间中，位于该托盘板运动到最高点时所处位置的靠后侧处，后端位于在该烘烤隧道封闭端外部靠后侧位置；该感应探头安装在该连杆的后端上；该侦料传感器固定安装在该感应探头的后方。

上述技术方案的进一步改进在于：该推料机构还包括一推料气缸装置、一光纤传感器；该推料板连接在该推料气缸装置上，其安装在该烘烤隧道内部的烘烤空间中，其位置高于该托盘板的最低点位置，该推料气缸装置可以带动该推料板前后运动；送料盘搁到该下层导轨上时该光纤传感器得到感应。