[实用新型]用于直拉硅单晶炉热场系统

权利要求书

1.一种用于直拉硅单晶炉热场系统包括石墨坩埚、石英坩埚、加热器、导流筒、上保温筒、中保温筒、下保温筒、保温盖、保温底盘、保温碳毡等，其特征在于下保温盖的上平面设置有槽，槽内设置有保温筒；在硅单晶炉的底部加厚了底部碳毡，并在底部碳毡上方压有炉底压片；在托盘的内孔内设置有连杆，在连杆和托盘相啮合的圆周上设置有销。

2.根据权利要求1所述的一种用于直拉硅单晶炉热场系统，其特征在于保温筒的外圆与下保温盖的上平面设置有槽的外圆大小一致，保温筒的外圆在套有上保温盖。

3.根据权利要求1所述的一种用于直拉硅单晶炉热场系统，其特征在于销的数量与托盘和连杆的数量相对应。

4.根据权利要求1所述的一种用于直拉硅单晶炉热场系统，其特征在于保温筒、销等均由石墨制成。