[实用新型]扩散氢气互锁装置无效

专利信息
申请号: 200820094859.3 申请日: 2008-06-17
公开(公告)号: CN201229485Y 公开(公告)日: 2009-04-29
发明(设计)人: 康鹏飞;郑维发 申请(专利权)人: 深圳深爱半导体有限公司
主分类号: G05B11/01 分类号: G05B11/01
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人: 郑小粤
地址: 518029广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 扩散 氢气 互锁 装置
【权利要求书】:

1、一种扩散氢气互锁装置,其特征是,包括:运放电路(101)、比较器(102)、驱动开关管(103)、继电器(104)、氢气阀门(105),其中,

所述运放电路(101)的信号输入端与用于探测热扩散炉温度的S型热电偶连接,接收温度电信号,输出放大后的温度电信号;

所述比较器(102)的第一输入端与所述运放电路的输出端连接,第二输入端接入设定的温度电信号,根据所述放大后的温度电信号、以及所述设定的温度电信号输出控制信号;

所述驱动开关管(103)与所述比较器(102)的输出端连接,根据所述控制信号输出驱动信号,控制所述继电器(104)的通断;

所述继电器(104)的输入端与所述驱动开关管(103)连接,输出端与所述氢气阀门(105)连接,接收所述驱动信号,控制所述氢气阀门(105)的开启或关闭。

2、根据权利要求1所述的扩散氢气互锁装置,其特征是,运放电路(101)包括:运算放大器(201),运算放大器(201)的正信号输入端、负信号输入端与所述热电偶连接,电阻(R4)连接在运算放大器(201)的负信号输入端与正信号输出端之间,电阻(15)连接在运算放大器(201)的信号输出端与比较器(102)的第一信号输入端之间。

3、根据权利要求2所述的扩散氢气互锁装置,其特征是,电阻(R4)为可调电阻。

4、根据权利要求2所述的扩散氢气互锁装置,其特征是,运算放大器(201)为OP07。

5、根据权利要求1所述的扩散氢气互锁装置,其特征是,运放电路(101)包括:运算放大器(201)、运算放大器(301),其中,

运算放大器(201)的正信号输入端、负信号输入端与所述热电偶相连接,电阻(R4)连接在运算放大器(201)的负信号输入端与其信号输出端之间,电阻R5连接在运算放大器(201)的负信号输入端与信号输出端之间,

电阻(R9)连接在运算放大器(301)的负信号输入端与信号输出端之间,电阻(R8)连接在运算放大器(301)的信号输出端与比较器(102)的第一信号输入端之间。

6、根据权利要求5所述的扩散氢气互锁装置,其特征是,运算放大器(201)、运算放大器(301)为:OP07。

7、根据权利要求5或6所述的扩散氢气互锁装置,其特征是,电阻(R9)为:可调电阻。

8、根据权利要求1至6之任一所述的扩散氢气互锁装置,其特征是,比较器(102)为:LP339LM339。

9、根据权利要求1至6之任一所述的扩散氢气互锁装置,其特征是,

氢气阀门(105)还与氧气阀门相连接,接收氧气流量值,根据氧气流量值设定氢气的流量。

10、根据权利要求1至6之任一所述的扩散氢气互锁装置,其特征是,驱动开关管(103)为:TIP120、TIP121、或TIP 122。

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