[实用新型]用于压电扫描管畸变量测试的可拆卸式扫描器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种扫描探针显微镜中的扫描器，特别是有关于扫描探针显微镜中所用的用于压电扫描管畸变量测试的可拆卸式扫描器。

背景技术

扫描器是扫描探针显微镜(SPM)的重要部件，它是扫描探针显微镜中的执行器件，负责完成样品XYZ方向的精密移动，它一般是由管状PZT压电陶瓷作为扫描元件(俗称为扫描管)，扫描管是由五个电极组成，分别是X+，X-，Y+，Y-，Z电极，施加特定电压在五个电极上即可实现XYZ三个方向上的运动。传统的扫描器制作工艺一般是将扫描管安装于扫描壳体中，只固定一端，另一端作为扫描端放置样品，组成扫描器。这种扫描器制作的固定端一般使用胶水固定粘接的工艺，工艺较为复杂，制作扫描器的耗时也较长，并且一旦安装完成后发现扫描管引起的扫描器工作不正常，则整个扫描器就要报废。为避免上述情况发生，一般在制作扫描器前首先对扫描管的电压位移特性进行测试。压电位移测试方式如果使用非SPM测量的话，需要迈克尔逊干涉仪等测量仪器，这类仪器价格昂贵，测试复杂，且耗时费力。而制作成常规扫描器后，用SPM测量则往往引入其他不确定的因素如制作工艺，而且本身制作扫描器的成本也非常高，耗时长。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种用于压电扫描管畸变量测试的可拆卸式扫描器，该款扫描器能够方便地安装和拆卸多种尺寸规格的压电扫描管，降低扫描器的生产成本。

为达到上述目的，本实用新型提供一种用于压电扫描管畸变量测试的可拆卸式扫描器，其实质性特点在于，其包括：一扫描台、扫描器壳体和底座，四个压簧设于该扫描器壳体，一个压簧设于该底座，连接线一端连接到该些压簧上，一扫描管一端放置在该扫描台上且其另一端安装于该底座上。

优选地，所述底座主体部分是一个圆柱体且横截面是梯形。

优选地，所述底座为可拆卸式。

优选地，所述扫描器壳体上有一凸缘形成的安装平台，该安装平台安装到扫描探针显微镜上。

优选地，所述压簧对应设置一固定螺栓，该固定螺栓穿过扫描器壳体。优选地，所述扫描管的内壁插在底座上并与金属压簧接触。

本实用新型由于采用了上述的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下的优点和积极效果：本实用新型扫描器壳体采用绝缘材料加工，具有良好的电绝缘性能。可拆卸底座与壳体连接是紧密配合，保证一定的强度，且又方便分离、拆卸。本实用新型扫描器最大的特点就是扫描管的固定采用可拆卸式固定，而电信号的连接则采用金属压簧片连接。扫描管通过压簧紧固的方式被牢固地固定在扫描器上，同时又可以方便地拆卸。无损伤的机械连接方式和电连接方式保证了压电扫描管的无损伤测试。同时，本扫描器可以适用不同长度和不同内外径的扫描管，扩大了它的测试范围。本实用新型扫描器可以完成扫描管的实际电压位移特性的测试，该扫描器能够方便的安装和拆卸多种尺寸规格的压电扫描管，并且对扫描管本身无损伤。经测试合格的扫描管再制作成SPM扫描器。这样本实用新型扫描器就可以方便完成对扫描管的筛选，降低了扫描器的生产成本，提高了成品扫描器的一致性。

附图说明

图1为本实用新型的可拆卸式扫描器结构示意图；

图2为本实用新型可拆卸式扫描器的底座结构示意图。

具体实施方式

以下将结合附图对本实用新型的用于压电扫描管畸变量测试的可拆卸式扫描器作进一步的详细描述。