[实用新型]晶片检测装置

说明书

技术领域

本实用新型有关一种用以检测晶片接脚良率的晶片检测装置，使能够达到提升准确度、方便更换检测接口，以及尤适合搭配自动取放料设备达到完全自动化运作等功效。

背景技术

如图1所示，为一种习有用以检测晶片接脚良率的检测装置，此习用的检测装置乃在一机台上固设有一检测接口10，以及在相对应于检测接口10的下方设有一供放置晶片20的升降平台30，在气压缸40的驱动下，使升降平台30相对应与检测接口10上下位移，使升降平台30上的晶片20能够与检测接口10接触以执行晶片接脚良率的检测动作。

以及，当升降平台30下降之后，可将完成检测的晶片取出，再将另一待测晶片放置在升降平台30上，重复气压缸40驱动升降平台30上升执行晶片晶片接脚良率的检测动作；然而，上述习用检测装置，不但不容易更换检测接口10，而且当晶片完成检测动作下降之后，其升降平台30仍位于检测接口10的正下方，相对的较不方便进行晶片的取放料，更无法搭配自动进放料设备使用，以致于无法提升晶片的检测速度。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型所解决的技术问题即针对习有用以检测晶片接脚良率的检测装置加以改良，旨在提供一种能够有效提升准确度、方便更换检测接口，以及尤适合搭配自动取放料设备达到完全自动化运作的晶片检测装置。

为达上揭目的，本实用新型的检测装置在一机台上设有一架体供插入检测接口，在相对应于架体的下方设有一可受第一驱动组件带动而与架体相对水平横向位移的滑台，于滑台上设有一可受第二驱动组件带动而与架体相对上下位移的载台供放置晶片。

本实用新型的有益效果，利用检测接口插入架体的组装设计，使更换检测接口的动作更为方便；而且当晶片完成检测下降之后，由第一驱动组件带动载台横向位移，使空出载台上方的空间，不但方便取放晶片，更适合搭配自动取放料设备达到完全自动化运作的晶片检测装置；尤其，架体的下方与载台的上方分别设有相对应配置的锥孔与锥块，藉以提升整体晶片检测以及读取晶片中讯息与内容的准确度。

附图说明

图1为一种习用晶片检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型的晶片检测装置外观立体图；

图3为本实用新型的晶片插入方式示意图；

图4为本实用新型的晶片放置方式示意图；

图5为本实用新型的夹具调整动作示意图；

图6为本实用新型的载台进入架体下方的动作示意图；

图7为本实用新型的载台上升动作示意图；

图8为本实用新型中锥孔与锥块的结构示意图。

【图号说明】

10检测接口              20晶片

30升降平台              40气压缸

50机台                  60架体

61滑槽                  62固定螺丝

63锥孔                  70滑台

80载台                  81夹具

82装配孔                83锥块

91第一驱动组件          92第二驱动组件

93微调机构

具体实施方式

本实用新型的特点，可参阅本案图式及实施例的详细说明而获得清楚地了解。

如图2至图5所示，本实用新型的晶片检测装置包括有：一机台50、一架体60、一滑台70及一载台80；其中：

架体60固设在机台50的上方，其底部设有一对滑槽61供插入检测接口10，并且在设有滑槽61的部位设有固定螺丝62将检测接口10固定，因此具有方便更换检测接口10的功效。

上述滑台70装设在机台50相对应于架体60的下方，可受一由气压缸构成的第一驱动组件91带动而与架体50相对水平横向位移；至于，载台80装设在滑台70的上方供放置晶片20，其载台80上设有一对夹具81供晶片20定位，以及设有若干供夹具81锁固的装配孔82，使能够配合受测晶片20的规格更换夹具81或是如图5所示改变夹具8的装配位置。

而且，该载台80可受由一气压缸所构成的第二驱动组件92带动而与架体60相对上下位移；据以，整体晶片检测装置于实际运作实，如图6所示，由第一驱动组件91带动滑台70连同载台80进入架体60的下方，再由滑台70上的第二驱动组件92带动载台80上升，如图7所示使载台80上的晶片20与架体60上的检测接口10接触以完成晶片10接脚良率的检测动作以及读取晶片10中的讯息与内容。