[发明专利]表面声波感测器无效
| 申请号： | 200810303020.0 | 申请日： | 2008-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN101634643A | 公开（公告）日： | 2010-01-27 |
| 发明（设计）人： | 周代栩 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/14 | 分类号： | G01N29/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 声波 感测器 | ||
1.一种表面声波感测器，其包括：压电基底，设置于压电基底表面的输入 叉指电极、输出 叉指电极，以及设置于压电基底表面且位于输入 叉指电极与输出 叉指电极之间的感测装置，其特征在于，所述感测装置包括纳米柱阵列或纳米管阵列，在纳米柱或纳米管表面具有感测材料层。
2.根据权利要求1所述的表面声波感测器，其特征在于：所述纳米柱或纳米管垂直于压电基底。
3.根据权利要求1所述的表面声波感测器，其特征在于：所述感测材料层的材料为氧化锌、钯或二氧化锡。
4.根据权利要求1所述的表面声波感测器，其特征在于：所述纳米柱为硅纳米柱，所述纳米管为碳纳米管。
5.根据权利要求4所述的表面声波感测器，其特征在于：所述感测材料层的材料为氧化锌，在所述感测材料层表面具有若干纳米线。
6.根据权利要求5所述的表面声波感测器，其特征在于：所述纳米线为氧化锌纳米线。
7.根据权利要求5所述的表面声波感测器，其特征在于：所述纳米线的直径比所述硅纳米柱或碳纳米管的直径小。
8.根据权利要求5所述的表面声波感测器，其特征在于：所述感测材料层的厚度为10~100纳米。
9.根据权利要求1所述的表面声波感测器，其特征在于：所述压电基底为压电基板，或为基板及与形成于基板上的压电膜层构成。
10.根据权利要求6所述的表面声波感测器作为紫外线感测器或氢气感测器的应用。
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