[发明专利]基板转移系统及转移方法

权利要求书

1.一种基板转移系统，用于将位于装载位置的基板转移至卸料位置，所述基板转移系统包括：

第一吸附装置、第二吸附装置、第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置、第四驱动装置、及一控制器，所述第一驱动装置与第三驱动装置分别用于驱动所述第一吸附装置与第二吸附装置沿竖直方向远离或靠近所述基板运动从而所述第一吸附装置与第二吸附装置可吸附位于装载位置的基板，所述第二驱动装置与第四驱动装置分别用于驱动所述第一吸附装置与第二吸附装置沿水平方向在所述装载位置与所述卸料位置之间移动，所述控制器控制所述第一吸附装置、第二吸附装置、第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置及第四驱动装置，使得所述第一吸附装置与第二吸附装置交替吸附位于装载位置的基板并将吸附的基板交替转移至卸料位置放下。

2.如权利要求1所述的基板转移系统，其特征在于，所述第一驱动装置与第二驱动装置分别驱动所述第一吸附装置在两个相互垂直的方向上运动。

3.如权利要求1所述的基板转移系统，其特征在于，所述第一吸附装置在远离和靠近基板的方向上运动距离大于第二吸附装置在远离和靠近基板的方向上运动距离。

4.如权利要求1所述的基板转移系统，其特征在于，所述基板转移系统进一步包括第一导轨、第二导轨、第一滑动件和第二滑动件，所述第一滑动件和第二滑动件分别滑动安装于第一导轨和第二导轨，所述第一驱动装置和第三驱动装置分别安装于所述第一滑动件和第二滑动件。

5.如权利要求4所述的基板转移系统，其特征在于，所述第一滑动件和第二滑动件分别包括承载部和滑动部，所述第一滑动件与第二滑动件的滑动部分别滑动安装于第一导轨和第二导轨。

6.如权利要求4所述的基板转移系统，其特征在于，所述第一导轨和第二导轨上设置有滑槽，所述第一滑动件和第二滑动件分别包括承载部和滑动部，所述滑动部嵌设于所述滑槽内。

7.如权利要求4所述的基板转移系统，其特征在于，所述基板转移系统进一步包括第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆连接两个第一导轨的一端，所述第二连接杆连接两个第二导轨的一端。

8.如权利要求7所述的基板转移系统，其特征在于，所述第二驱动装置安装于第一连接杆，所述第四驱动装置安装于第二连接杆。

9.一种基板转移方法，包括以下步骤：

第一步，利用第二驱动装置驱动第一吸附装置自卸料位置移动至装载位置并下降，进行基板的上载，同时第四驱动装置驱动第二吸附装置自装载位置移动至卸料位置并下降，进行基板的下卸；

第二步，利用第一驱动装置驱动第一吸附装置自装载位置上升移动至第一高度，同时，第三驱动装置控制第二吸附装置自卸料位置上升移动至第二高度，所述第一高度小于第二高度；

第三步，利用第二驱动装置驱动第一吸附装置于所述第一高度处自装载位置移动到卸料位置并下降，进行基板的下卸，同时，利用第四驱动装置驱动第二吸附装置于所述第二高度处自卸料位置移动到装载位置并下降，进行基板的上载；

第四步，利用第一驱动装置驱动第一吸附装置自卸料位置上升移动至所述第一高度，同时，第三驱动装置控制第二吸附装置自装载位置上升移动至所述第二高度；

第五步，重复上述第一步至第四步。