[发明专利]用于痕量检测仪的气路集成装置

权利要求书

1.一种用于痕量检测仪的气路集成装置，包括：

阀块，该阀块包括气体通道，该气体通道用于连接气路集成装置的各个部件；以及

连接到所述阀块上的所述部件，

其中所述部件包括：掺杂装置，所述掺杂装置中形成有中间空腔，所述中间空腔中放置具有渗透功能的渗透管，渗透管中装有掺杂剂，

所述的用于痕量检测仪的气路集成装置还包括：迁移吹扫气出口，从迁移泵排气口排出的气体进入阀块，通过阀块内部通道进入外接过滤器，过滤后的气体再由过滤器出口进入阀块内，通过内部通道，从所述迁移吹扫气出口排出，进入迁移管，形成吹扫气，

所述部件还包括：两位三通阀和两位二通阀，并且所述的用于痕量检测仪的气路集成装置还包括：从连接所述过滤器和所述迁移吹扫气出口的、所述阀块内部通道分支的另一内部通路，由此，从自迁移泵排气口排出的气体可以经过所述另一内部通路，先通过所述两位三通阀，在进入掺杂装置与掺杂气体混合后再经过所述两位二通阀，最后通过阀块内部管道进入迁移管，形成掺杂气。

2.根据权利要求1所述的用于痕量检测仪的气路集成装置，所述部件还包括：缓冲装置，由迁移管出气口排出的气体进入阀块，通过阀块通道进入缓冲装置，气体经缓冲后从缓冲装置出口进入迁移泵吸气口。

3.根据权利要求2所述的用于痕量检测仪的气路集成装置，其中所述阀块具有沉孔，所述沉孔与缓冲装置的内腔共同形成缓冲室。