[发明专利]一种傅立叶透镜系统有效

专利信息
申请号: 200810204353.8 申请日: 2008-12-10
公开(公告)号: CN101482644A 公开(公告)日: 2009-07-15
发明(设计)人: 关俊 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: G02B13/00 分类号: G02B13/00;G02B17/08
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所 代理人: 屈 蘅;李时云
地址: 201203上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 傅立叶 透镜 系统
【权利要求书】:

1.一种傅立叶透镜系统,其特征在于,从物面至像面沿其光轴方向依次包括:

第一双凸凸透镜;

弯月透镜;以及

第二双凸凸透镜,所述弯月透镜的凸面朝向像面;

其中,该第一双凸凸透镜,该弯月透镜和该第二双凸凸透镜,两两透镜之间的沿轴空气间隙小于20毫米,所述傅立叶透镜系统的光学表面均为球面或平面透镜;

在该傅立叶透镜系统的像面位置,还包括:

第一直角反射镜,位于像面和光轴的交点,将照明光束沿光轴反射;

第二直角反射镜,将照明光束反射至该第一直角反射镜。

2.根据权利要求1所述的傅立叶透镜系统,其中该弯月透镜的材料为ZF6。

3.根据权利要求1所述的傅立叶透镜系统,其中该第一双凸凸透镜和该第二双凸凸透镜的材料为ZK7。

4.根据权利要求1所述的傅立叶透镜系统,其中该第二双凸凸透镜之后还包括沿光轴排列的第一平面透镜。

5.根据权利要求4所述的傅立叶透镜系统,其中该第一平面透镜采用的材料为ZK11。

6.根据权利要求4所述的傅立叶透镜系统,其中该第一平面透镜之后还包括沿光轴排列的第二平面透镜。

7.根据权利要求6所述的傅立叶透镜系统,其中该第二平面透镜采用的材料为石英玻璃。

8.根据权利要求7所述的傅立叶透镜系统,其特征在于,从物面至像面沿其光轴方向,该第一双凸凸透镜具有第一表面和第二表面,第一表面的半径为224.39mm,第二表面的半径为34.45mm,该第一双凸凸透镜的中心厚度为13.07mm,半孔径为22mm;

该弯月透镜具有第三表面和第四表面,第三表面的半径为34.02mm,第四表面的半径为76.69mm,该弯月透镜的中心厚度为4mm,半孔径为24mm;

该第二双凸凸透镜具有第五表面和第六表面,第五表面的半径为491.49mm,第六表面的半径为121.4mm,该第二双凸凸透镜的中心厚度为7.28mm,半孔径为24.5mm;

第一平面透镜的厚度为98mm;

第二平面透镜的厚度为6mm。

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