[发明专利]一种傅立叶透镜系统有效
| 申请号: | 200810204353.8 | 申请日: | 2008-12-10 |
| 公开(公告)号: | CN101482644A | 公开(公告)日: | 2009-07-15 |
| 发明(设计)人: | 关俊 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号: | G02B13/00 | 分类号: | G02B13/00;G02B17/08 |
| 代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈 蘅;李时云 |
| 地址: | 201203上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 傅立叶 透镜 系统 | ||
1.一种傅立叶透镜系统,其特征在于,从物面至像面沿其光轴方向依次包括:
第一双凸凸透镜;
弯月透镜;以及
第二双凸凸透镜,所述弯月透镜的凸面朝向像面;
其中,该第一双凸凸透镜,该弯月透镜和该第二双凸凸透镜,两两透镜之间的沿轴空气间隙小于20毫米,所述傅立叶透镜系统的光学表面均为球面或平面透镜;
在该傅立叶透镜系统的像面位置,还包括:
第一直角反射镜,位于像面和光轴的交点,将照明光束沿光轴反射;
第二直角反射镜,将照明光束反射至该第一直角反射镜。
2.根据权利要求1所述的傅立叶透镜系统,其中该弯月透镜的材料为ZF6。
3.根据权利要求1所述的傅立叶透镜系统,其中该第一双凸凸透镜和该第二双凸凸透镜的材料为ZK7。
4.根据权利要求1所述的傅立叶透镜系统,其中该第二双凸凸透镜之后还包括沿光轴排列的第一平面透镜。
5.根据权利要求4所述的傅立叶透镜系统,其中该第一平面透镜采用的材料为ZK11。
6.根据权利要求4所述的傅立叶透镜系统,其中该第一平面透镜之后还包括沿光轴排列的第二平面透镜。
7.根据权利要求6所述的傅立叶透镜系统,其中该第二平面透镜采用的材料为石英玻璃。
8.根据权利要求7所述的傅立叶透镜系统,其特征在于,从物面至像面沿其光轴方向,该第一双凸凸透镜具有第一表面和第二表面,第一表面的半径为224.39mm,第二表面的半径为34.45mm,该第一双凸凸透镜的中心厚度为13.07mm,半孔径为22mm;
该弯月透镜具有第三表面和第四表面,第三表面的半径为34.02mm,第四表面的半径为76.69mm,该弯月透镜的中心厚度为4mm,半孔径为24mm;
该第二双凸凸透镜具有第五表面和第六表面,第五表面的半径为491.49mm,第六表面的半径为121.4mm,该第二双凸凸透镜的中心厚度为7.28mm,半孔径为24.5mm;
第一平面透镜的厚度为98mm;
第二平面透镜的厚度为6mm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司,未经上海微电子装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200810204353.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:准直器调节系统和用于调节准直器系统的方法
- 下一篇:两维大口径快速控制反射镜





