[发明专利]从掩模板移除护膜的装置和方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种从可用于光刻的掩模板移除护膜的装置和方法。

背景技术

长期以来，特别是在微型半导体部件的制造中，使用设置有结构的掩 模板已经很普遍了，其以光刻方式在用于电子电路的衬底(晶片)上产生非 常易损的设计结构。在此环境下，对掩模板具有高的要求，特别是形成于 其上的可用的结构。然而，这也涉及它们的纯度，并且要求避免微粒附着。

近期，由于形成于相应的衬底上的结构已经越来越小，在使用中对纯 度和避免掩模板缺陷的相应要求已经增加。因此在掩模板上设置了所谓的 护膜。护膜是掩模板结构的保护元件。其包括一框架和一薄膜，该薄膜在 光刻应用中是光学透明的。然后使用粘合剂将护膜框架的一较低侧以材料 连续性地连接到掩模板，该框架设置在护膜的相对侧，薄膜连接到框架上。 因此掩模板结构受到护膜和其薄膜的保护。因为薄膜设置地与掩模板的结 构表面有一间距，在曝光过程中可以将附着在薄膜上微粒在焦距之外而不 在相应的衬底表面上成像，这样就不会产生微粒引起的曝光误差。

然而，已经发现在掩模板结构在使用过程中会直接产生缺陷。然而， 由于护膜设置在其上，他们不能被消除或者修改。为此需要暂时地移除护 膜。

以前这样的移除几乎仅通过手工进行。在此环境下，加热相应的掩模 板以致所使用的粘合剂软化，然后操作员可以用手从掩模板移除护膜。显 然地这表现了一不满意的情形，并且因此纯度要求不能达到所需的程度。

用于操作的支座形成在在框架上，实际上在其径向外边缘上。然而所 使用的护膜既不规范也不标准，以致护膜可以具有不同的维数，例如涉及 几何设计和维数。框架可以具有不同的高度，以致护膜的薄膜到掩模板表 面的间距可以不同。这也适用于支座。使用不同的粘合剂用来材料连续性 地连接，因此其也可以具有彼此不同的特性，也就是，不同的分离行为。

操作员通过手工的操作预先考虑大量的这些差别。除了已经提到的纯 度问题，然而，不可能充分地避免操作员的误操作，以致损伤或者甚至毁 坏价格昂贵的掩模板，然后不得不用新准备的掩模板替换。

发明内容

因此本发明的目的是提供以通用的方式能够从掩模板移除护膜的可 能性，而不进一步污染或者损伤掩模板。

根据本发明通过具有权利要求1的特征的一装置达到该目的。在这个 方面，也可能根据权利要求10的方法进行。

有利的实施例和进一步的发展可以通过从属权利要求限定的特征达 到。

在这个方面根据本发明的装置可以以非常复杂的方式被制成，以特别 避免仍然必要的手工工作程序，但至少将它们降低到比前述的情况要低得 多的最小程度。

优选地，可以使用一手柄来操作掩模板，通过所述手柄可以调整并传 输掩模板。为此，当移动时，需要牢固固定所述掩模板，但是也需要简单 解除所述固定。然而应该避免损伤所述掩模板。然后可以利用两个固定元 件将所述相应的掩模板紧固住在两个相对地设置的侧，所述两个固定元件 优选地以力传递和形状匹配的方式接合在所述掩模板的所述径向外边缘 三个点上，通过应用压缩力并且在所述固定元件上相应设计紧固住保持元 件。优选地，在这个方面通过所述固定元件作用的所述压缩力应该由弹簧 力施加。然后，用于解除所述固定元件的固定的移动驱动器应该仅用于所 述解除程序或者用于所述手柄的开启。优选地，可以使用拉伸弹簧，其在 一侧固定固紧所述手柄并且在另一侧连接一固定元件。每个固定元件上应 该设有至少一个弹簧。所述固定元件可以由一纵向的导向装置引导。然后 启动可选地具有一传动装置的一驱动器，用于打开手柄，以产生逆着所述 弹簧的弹簧力作用的力，其大于所述固定元件的弹簧力并且所述掩模板因 此可以脱离接合。这个移动可以通过连接到所述固定元件的一杠杆传动的 杠杆的驱动移动来发起。

然而一驱动器，例如一合适的电动机，也可以移动偏心元件，使得因 此也可以从所述相应的掩模板的外边缘移开所述固定元件，或者他们可以 被移动地分离。当这样的一手柄紧固住掩模板时，因此产生可再生的力， 其总是与一线性弹簧恒量相等，而没有必要做其它的测量。