[发明专利]光波导路装置的制造方法以及由此获得的光波导路装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种在光通信、光信息处理、其它一般光学 中广泛应用的光波导路装置的制造方法以及由此获得的光波 导路装置。

背景技术

通常，光波导路装置通过光波导路传播从发光元件发出 的光，相反，使受光元件接收由光波导路传播来的光，从而 进行光耦合(optical coupling)，例如图8所示构造。该光波 导路装置包括光波导路，该光波导路由在基板1上设置固定的 发光元件2、下敷层3、芯层4和上敷层5构成，按照箭头所示 传播光。

在上述光波导路装置中，为了降低光耦合损失，需要准 确地将发光元件2的光轴和芯层4的光轴的位置对合，在与光 轴正交的2个方向(左右方向和上下方向)进行严格的位置调 整。但是，在上述位置调整中需要特殊的构件，或者在该位 置调整中需要花费很多时间和劳力，因此，存在组装成本变 高的问题。

因此，例如，公示有一种包括对位标记的光波导路组件， 该对位标记在距离受发光元件的受发光部规定距离的位置反 射或者吸收位置调整用光(参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2005-134444号公报

采用上述光波导路组件虽然具有在位置调整中不需要使 用特殊构件的优点，但是，仍然需要将受发光元件的对位标 记作为记号进行位置调整，因此，无法解决对位所需的时间 和劳力的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而做出的，其目的在于提供一种 能够简单且准确地对受发光元件的光轴与光波导路的光轴的 位置对合，能够缩短制造时间的优秀的光波导路装置制造方 法以及由此获得的光波导路装置。

为了达到上述目的，本发明的第1技术方案在于提供一种 光波导路装置的制造方法，包括：在基板上表面形成下敷层 的工序；跨越上述下敷层上表面以及基板上表面的受发光元 件设置预定部而形成芯形成材料层的工序；使上述芯形成材 料层局部固化，通过去除未固化部分形成包括光入射面或光 射出面的芯层，同时形成受发光元件设置用的左右方向对位 用导向部的工序；沿着上述左右方向对位用导向部，在基板 上设置受发光元件的工序。

另外，本发明的第2技术方案特别在于提供一种装置的制 造方法，其中包括：用树脂密封在上述基板上设置的受发光 元件、芯层的至少光入射面或者光射出面，从而形成光传播 层的工序；第3技术方案在于提供一种光波导路装置的制造方 法，使用与上述芯形成材料相同的材料进行上述树脂密封。

而且，本发明的第4技术方案在于提供一种通过上述第1 技术方案中的制造方法获得的光波导路装置，在基板上表面 形成下敷层，在其上表面形成包括光入射面或者光射出面的 芯层，并且在上述基板上形成由与上述芯层相同的材料构成 的受发光元件设置用的左右方向对位用导向部，沿着该左右 方向对位用导向部，在基板上设置受发光元件。

而且，本发明的第5技术方案在于提供一种光波导路装 置，其中，特别是用树脂密封在上述基板上设置的受发光元 件、和芯层的至少光入射面或光射出面，形成光传播层。

即，本发明人对于不采用特殊构件、简单且准确地进行 受发光元件与光波导路对位的方法重复进行了深入研究。其 结果是，在形成光波导路中的芯层时，使用其芯形成材料层 同时形成用于对受发光元件与光波导路对位的对位用导向 部，则能够准确且简单地相对于芯层的光传播用端面确定上 述对位用导向部的位置，其结果是，能够不花费任何时间和 劳力、准确地对受发光元件进行定位，达到本发明的目的。

若根据本发明的光波导路装置的制造方法，则如上所述， 在形成光波导路的芯层时，由于使用其芯形成材料层同时形 成用于对受发光元件和光波导路对位的对位用导向部，因此， 不需要另外准备对位用构件的时间和劳力。而且，由于在制 造光掩模等时，能够准确且简单地将上述对位用导向部相对 于芯层的光传播端面定位，因此，具有能够高精度对受发光 元件进行定位的优点。