[发明专利]使用旋转光学元件的高速高效率光学图案生成器无效

专利信息
申请号: 200810169612.8 申请日: 2004-12-21
公开(公告)号: CN101387750A 公开(公告)日: 2009-03-18
发明(设计)人: 伦纳德·C·迪拜尼迪克蒂斯;戴维·C·纳波斯;乔治·弗兰基尼斯 申请(专利权)人: 雷利恩特技术公司
主分类号: G02B26/08 分类号: G02B26/08;G02B26/10
代理公司: 北京市金杜律师事务所 代理人: 王茂华;李 辉
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 使用 旋转 光学 元件 高速 高效率 图案 生成器
【权利要求书】:

1.一种用于生成多个图的光学图案生成器,该图案生成器包括:

第一多面旋转光学元件,其具有第一旋转轴和围绕第一旋转轴旋转的多个不同折射面,其中多个面的每一个包括相应的偏移部件,所述偏移部件沿着偏移方向偏移入射光束,其中所述偏移方向总体上与光学元件的径向方向对准,以及

第二多面旋转光学元件,其具有第二旋转轴和围绕第二旋转轴旋转的多个不同折射面,第二光学元件位于第一光学元件的下游,其中第一光学元件上的每个面都具有在第二光学元件上的对应的面,以及对应的面同步旋转通过光束,并且随着对应的面旋转通过光束,使光束从所述多个图中生成一个图。

2.如权利要求1所述的图案生成器,其中所述多个图中的图偏移不均匀的量。

3.如权利要求2所述的图案生成器,其中入射光束沿着多个扫描线中的一个或者多个扫描线的偏转补偿目标的相对运动,从而该图案生成器使得光束在目标上产生多个图,其中每个图在图曝光期间在目标上是固定的。

4.如权利要求1所述的图案生成器,其中第一多面旋转光学元件的每个相应偏移部件包括透镜状光学元件,并且所述透镜状光学元件的光焦度对于每个面是不同的,从而不同的面引入不同的偏移。

5.如权利要求1所述的图案生成器,其中第一光学元件的偏移部件围绕与第一旋转轴平行的轴旋转对称,以及第一光学元件的一个或者多个偏移部件没有围绕第一旋转轴旋转对称。

6.如权利要求1所述的图案生成器,其中第二光学元件上的至少一个面包括偏移部件,其中在第一和第二光学元件的对应面上的偏移部件具有符号相反的光焦度。

7.如权利要求1所述的图案生成器,还包括功能上耦合到第一多面旋转光学元件的机头,该机头被配置为递送光学治疗能量给选择的皮肤区域。

8.如权利要求1所述的图案生成器,还包括聚焦光束的一个或者多个成像光学元件,随着对应面旋转通过光束,在目标表面产生图的图案。

9.一种用于偏转光轴的光学图案生成器,该图案生成器包括:

第一多面旋转光学元件,其具有旋转轴和围绕旋转轴旋转的具有光焦度的多个面;以及

第二多面旋转光学元件,其位于第一光学元件的下游,该第二光学元件具有旋转轴和围绕旋转轴旋转的具有光焦度的多个面;

其中第一光学元件上的具有光焦度的每个面都具有在第二光学元件上的具有光焦度的对应的面,对应的面同步相互对转通过入射光轴。

10.如权利要求9所述的图案生成器,其中该图案生成器偏转光轴以在目标上产生图的图案,至少一些图补偿该图案生成器相对于目标的运动。

11.如权利要求10所述的图案生成器,其中一个或者多个图相对于目标基本上是固定的。

12.如权利要求9所述的图案生成器,其中对应的面的每一对沿着不同的扫描线偏转光轴。

13.如权利要求12所述的图案生成器,其中沿着与扫描方向垂直的方向偏移不同的扫描线。

14.如权利要求9所述的图案生成器,针对对应的面的至少一对,该对的一个面具有正的光焦度,而该对的另一个面具有负的光焦度。

15.如权利要求9所述的图案生成器,其中光轴在第二多面旋转光学元件的一个或者多个面上具有非垂直入射。

16.如权利要求9所述的图案生成器,在多面旋转光学元件中的至少一个上的多个面围绕平行于旋转轴的一个或者多个轴旋转对称。

17.如权利要求9所述的图案生成器,其中第一多面旋转光学元件包括折射面。

18.一种光学图案生成器,用于在相对于该光学图案生成器移动的目标上生成多个图,该图案生成器包括:

第一多面旋转光学元件,其具有第一旋转轴和围绕第一旋转轴旋转的多个不同的面,其中每个面偏转入射光束,入射光束补偿目标相对于光学图案生成器的运动,以生成多个图中的一个图。

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