[发明专利]照明装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种使用介质阻挡放电灯的照明装置。

背景技术

在对液晶基板等进行干法清洗的光清洗装置中使用介质阻挡放电灯。这样的光清洗装置是对在石英玻璃管中封入准分子生成气体的准分子灯外加高频电压，使玻璃管内放电，使准分子生成气体处于准分子状态，并照射波长为172nm的单一波长的光。通过对大气中照射波长为172nm的紫外线，使大气中的氧分解，生成活性氧。被切断键的有机化合物与活性氧反应，生成二氧化碳(CO₂)和水(H₂O)等，以此来去除有机化合物。

在以往的光清洗装置中使用管径较大的介质阻挡放电灯，但是为了装置的小型化，还开发出了使用多个管径较小的介质阻挡放电灯、并通过公共的亮灯电路对这些放电灯进行亮灯的装置(参照专利文献1)。

专利文献1：日本专利特开2006-134705号公报

在光清洗装置中，一般来讲通过累计光通量对照射进行管理。在具有多个灯的结构的光清洗装置中，如果多个灯中的一部分灯由于各种各样的原因不亮灯(以下称为不亮)，就无法得到需要的累计光通量，所以需要有能检测出灯不亮的功能。

作为不亮检测功能，一般来讲有例如使用照度计的方法。但是，考虑到准分子灯拥有光清洗作用的性质，在灯的附近配置照度计时，会产生照度计老化的问题。为了减少老化，远离准分子灯配置照度计时，由于准分子光在空气中容易衰减，故无法正确检测出照度。

作为其他的不亮检测功能，有一种方法是，检测出灯的电流变化，当电流值在事先设定的基准值以下时判断为错误(不亮)。通常，光清洗装置的灯的寿命多规定为照度维持率的70％。因为照度和灯电流间存在大致的相关关系，所以一种方法是，将灯电流的基准值设定为初始灯电流70％来检测寿命。

但是，在使用多个灯的光清洗装置中，会发生无法明确判断是由于寿命的原因使灯电流值位于基准以下、还是由于电灯不亮的原因使灯电流位于基准值以下的情况。

本发明鉴于上述内容而成，其课题是提供一种使多个灯通过一个亮灯装置使其亮灯而小型化的同时、更加准确地检测出灯不亮的照明装置。

发明内容

本发明相关的照明装置的特征是，包括：外加高频电压的亮灯电路；与此亮灯电路并联连接的多个介质阻挡放电灯；检测出这些介质阻挡放电灯中流过的灯电流值的电流检测电路；以及当此电流检测电路检测的灯电流值小于基准值le时、判断出所述多个介质阻挡放电灯中存在不亮的不亮检测电路，设与所述亮灯电路并联连接的介质阻挡放电灯的个数为N，当这些N个所有的介质阻挡放电灯亮灯时的初始灯电流值为ls，这时，所述基准值le被设定为满足下式条件：

(N-1)/N≤le/ls

另外，本发明相关的照明装置的特征是，包括：外加高频电压的多个亮灯电路；与这些亮灯电路分别并联连接的N个(N为2以上的整数)介质阻挡放电灯；为了检测出这些N个介质阻挡放电灯中流过的灯电流值、而对所述多个亮灯电路分别设置的电流检测电路；以及当这些电流检测电路检测的灯电流值小于基准值le时、判断出所述多个介质阻挡放电灯中存在不亮的不亮检测电路，设与所述亮灯电路并联连接的N个介质阻挡放电灯全部都亮灯时的初始灯电流值为ls，这时，所述基准值le被设定为满足下式条件：

(N-1)/N≤le/ls

另外，本发明相关的照明装置中的特征是，所述基准值le被设定为对于所述初始灯电流值ls的与寿命维持率对应的规定比例。

更进一步地，本发明相关的照明装置中的特征是，所述基准值le被设定为对于所述初始灯电流值ls的70％。

更进一步地，本发明相关的照明装置中的特征是，所述多个介质阻挡放电灯是准分子灯。

在这样的发明中，设备有N个介质阻挡放电灯的所有介质阻挡放电灯亮灯时的初始灯电流值为ls的时候，设定基准值le满足条件(N-1)/N≤le/ls，通过检测出的灯电流值与基准值le比较，可以更准确地检测出介质阻挡放电灯的不亮。

通过本发明，可以提供一种使多个灯通过1个亮灯装置亮灯而小型化、同时更加准确地检测出灯不亮的照明装置。

附图说明

图1是表示一个实施方式下的照明装置结构的概略图。

图2是表示图1的照明装置中设定的错误基准值的说明图。

图3是表示搭载多个图1的照明装置的光清洗装置结构的模式图。

标号说明

1照明装置

2介质阻挡放电灯

3亮灯电路

4灯电流检测部