[发明专利]透光性压模、其制造方法和多层光记录介质的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及光记录介质的制造方法。具体地说，本发明涉及多层光记录介质的制造方法、用于制造多层光记录介质的透光性压模及其制造方法，在多层光记录介质的制造方法中，通过应用旋涂等方法在基底上涂敷光致固化树脂以便层叠记录层。 

背景技术

作为具有高密度的信息记录/再现技术，例如CD、DVD和Blu-ray(注册商标)光盘(BD)之类的光记录介质吸引了大量的关注。近年来，随着运动图像的数字化的发展和设备的小型化的发展，存在更高记录密度和更大容量的需求。 

通常，已知光记录介质的记录密度很大程度上取决于激光束的波长λ和记录/再现光学系统的物镜的数值孔径(NA)。换句话说，能够再现信号的记录凹坑的空间频率为约2NA/λ。因此，已经对通过应用短波长技术或高NA技术获得高记录密度进行了大量的研究。例如，当用于记录/再现的激光束的波长为780nm且透镜的NA为0.45时，CD的记录容量为约650MB。当激光束的波长为650nm且透镜的NA为0.6时，DVD-ROM的容量为约4.7GB。此外，当激光束的波长短至405nm且透镜的NA为0.85时，BD的容量大于23GB。因此，光记录介质的容量已经增大。 

另一方面，已经对利用堆叠多个记录表面实现大容量进行了更多的研究。例如，已经通过堆叠两层记录表面例如在DVD和BD中实现了双倍记录容量。对于BD，正在研制四层介质，旨在对下一代产品进行更好的集成化。 

常规上，使用下面的方法作为多层光记录介质的制造方法。首先，在基底的表面中形成凹坑或导向槽，在该凹坑或导向槽上形成反射层和记录层，从而形成第一信息记录层。 

然后，在第一信息记录层上形成可紫外线固化的树脂(光致固化树脂)和干的光聚合物层(步骤1)。带有记录层所需的信息(凹坑、导向槽、等等)的压模被叠加在可紫外线固化的树脂和干的光聚合物层上，并被固化，从而形成凹坑或导向槽，然后剥离该压模(其中形成有凹坑或导向槽的层被称作“中间层”)(步骤2)。在凹坑或导向槽上形成半透明膜，从而形成第二信息记录层(步骤3)。重复上述步骤以形成第三记录层和第四记录层(例如，参见日本专利申请公开No.2003-203402和Matsushita Technical Journal Vol.50(No.5)，2004年10月，第64-68页)。 

在这种情况下，当可紫外线固化的树脂和干的光聚合物通过记录层(半透明膜)被固化时，发生照射的紫外线衰减的现象。因此，在上述方案中，必需使用对紫外线具有透射性的压模(透光性压模)和从该压模侧进行紫外线的照射。 

通常将由树脂制成的压模用作透光性压模，但是从必需保持产量和质量的观点来看，很难再次利用由树脂制成的压模。因此，每次形成一层的时候，都需要去除该压模，这就引起了增加成本的问题。 

此外，已经提出了一种通过蚀刻在玻璃材料中形成对应于信息图案的图案用作透光性压模的方法(参见，例如，MatsushitaTechnical Journal Vol.50(No.5)，2004年10月，第64-68页)。 

玻璃制的透光性压模的制造方法在图3A至3E中示出。首先，在石英玻璃基底31上均匀地涂敷光致抗蚀剂32(见图3A)。接着，在光致抗蚀剂32上，利用光束33形成对应于信息图案的潜像(见图3B)。然后，进行显影处理，从而获得具有预期图案的光致抗蚀剂32(见图3C)。通过利用CF₄气态等离子体34从光致抗蚀剂32的表面对石英玻璃基底31进行干法蚀刻，该干法蚀刻在预期深度处停止(见图3D)。然后，通过用氧气(O₂)进行灰化处理以除 去留下来的光致抗蚀剂32，从而获得玻璃制的透光性压模(见图3E)。 

在日本专利申请公开No.01-188332中所公开的上述方法中，透光性压模可被重复使用。然而，在制造该透光性压模的情况下，必需管理包括干法蚀刻过程和灰化过程在内的复杂工序。此外，在干法蚀刻过程中使用的CF₄气体和CHF₃气体都是温室效应气体，从而它们的使用是受限制和不希望的。此外，在该方法中，该图案被直接形成于玻璃基底上，因此在再利用该玻璃基底的时候必须抛光和再生该玻璃基底。 

发明内容

由于上述情况，本发明的一个目的是提供对紫外线具有透光性且具有适于重复使用的耐久性的透光性压模。 

本发明的一个目的是提供对紫外线具有透光性且具有适于重复使用的耐久性的透光性压模。