[发明专利]轮廓振子

说明书

技术领域

本发明涉及层叠接合多个振动基板而形成的轮廓振子(輪郭振動子，contour resonator)。

背景技术

作为便携设备、信息通信设备、计测设备等电子设备用的压电振子，可以列举AT切石英振子等厚度切变(Thickness-Shear)振子、或DT切石英振子(轮廓切变石英振子)、Lame模态石英振子(Lame-Mode QuartzCrystal Resonators)以及准Lame模态石英振子等的轮廓振子。

在非专利文献1和非专利文献2中，报告了在四方形的石英基板的两面形成激励电极的Lame模态石英振子，且示出在石英基板的对置的两边之间所激励的Lame模态振动，该Lame模态振动即在一方的两边之间和与其正交的另一方的两边之间交替伸缩的振动。

在专利文献1中，公开了一种Lame模态石英振子，其使用在以IRE(Institute of Radio Engineers(无线电工程师协会)的缩写，现在的IEEE)标准的表示的切角表记中，设θ为40°～50°，为-40°～-60°(即为120°～140°)或为40°～60°的石英基板。

在专利文献3中公开了一种θ为40°～50°的GT切石英振子。在专利文献2和非专利文献3中公开了通过设θ＝45°的GT切石英振子的边长比为1而形成Lame模态石英振子的技术。

并且，在专利文献4中公开了一种轮廓切变石英振子。

【专利文献1】日本特开2005-26843号公报

【专利文献2】日本特开2001-313537号公报

【专利文献3】日本特开昭52-149084号公报

【专利文献4】日本特公平8-31758号公报

【非专利文献1】第24回EMシンポジウム、11頁～16頁、「エツチング法によつて形成されたラ一メモ一ド水晶振動子」、川島宏文、松山勝

【非专利文献2】第35回EMシンポジウム、31頁～34頁、「小型ラ一メモ一ド水晶振動子の開発」、水本勝也、秋野真志、西剛史、沢英紀、丸茂正秀、雨宮正人

【非专利文献3】P.C.Y.Lee，et al.“Extensional Vibrations ofRectangular Crystal Plates”，Proc.35th Ann.Freq.Control Symposium(1981)

在这种轮廓振子中，在单层石英基板的表面和背面这两面上形成激励电极。这里，通过减小表面和背面的激励电极之间的距离(即，通过使石英基板变薄)，能够提高电场效率，能够实现低损耗的轮廓振子。但是，在减薄石英基板时，存在包括支承结构在内的结构上的强度不足而无法适应实际使用的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电场效率高且结构强度高的轮廓振子。

[应用例1]一种轮廓振子，该轮廓振子至少具有第1振动基板和第2振动基板，通过接合所述第1振动基板和所述第2振动基板相互对置的主面而形成，其特征在于，该轮廓振子具有：设置在所述第1振动基板的正面主面上的第1激励电极；设置在所述第2振动基板的背面主面上的第2激励电极；以及设置在所述第1振动基板和所述第2振动基板的边界面上的共同的中间激励电极，所述第1激励电极和所述第2激励电极进行电连接作为第1端子，所述中间激励电极作为第2端子，根据在所述第1端子和所述第2端子之间施加的激励信号，所述第1振动基板和所述第2振动基板进行轮廓振动。

优选在所述第1振动基板和所述第2振动基板中，谐振频率、振动模态以及振动移位方向相同。

假设本发明的轮廓振子为第1、第2振动基板的层叠结构，则对第1振动基板而言，第1激励电极为上电极，中间激励电极相当于下电极。另一方面，对第2振动基板而言，中间激励电极相当于上电极，第2激励电极相当于下电极。

因此，第1振动基板和第2振动基板即使在各自单体中减小激励电极之间的距离(即，即使减薄各自的振动基板)，通过形成为相互层叠的结构，相对于单体而言也具有两倍的结构厚度。由此，通过缩小激励电极之间的距离，能够提高对振动基板施加的电场(即，能够提高电场效率)，通过接合边界面，能够实现在实际使用上具有足够结构强度的轮廓振子。

另外，如果在第1振动基板和第2振动基板中，谐振频率、振动模态以及振动移位方向相同，则在第1振动基板和第2振动基板中，彼此不会阻碍振动，能够抑制谐振阻力的增大。