[发明专利]检验方法和设备、光刻处理单元和器件制造方法

权利要求书

1、一种定义轮廓的方法，使得所述轮廓的定义能够被用于根据来自对象的衍射辐射重构对象的轮廓，所述方法包括：

利用已知对象的信息定义轮廓；

利用数学函数描述所述轮廓的表面；

在数学函数中选择可变参数并且迭代地改变所述可变参数直到所述轮廓的计算衍射图案与所述已知对象的衍射图案相匹配；以及

存储所述轮廓以及所述可变参数。

2、如权利要求1的方法，其中描述所述轮廓的所述表面包括将二维轮廓的外形分成多个片段，每一片段由至少一个形状定义器来表示，所述形状定义器选自由以下元素组成的组：线、多边形、板、曲线、多项式方程、向量、预制形状以及样条。

3、如权利要求1的方法，其中描述所述轮廓的所述表面包括将三维轮廓的表面分成多个片段，每一片段由至少一个形状定义器来表示，所述形状定义器选自由以下元素组成的组：多边形、板、曲线、多项式方程、向量、预制形状以及样条。

4、如权利要求1的方法，其中所述已知对象是对象的输入图像。

5、如权利要求4的方法，其中所述图像通过度量衡工具获得。

6，如权利要求5的方法，其中所述度量衡工具是扫描电子显微镜、原子能显微镜或散射仪。

7、如权利要求4的方法，其中所述图像是利用对对象的仿真而获得的。

8、如权利要求4的方法，其中所述图像是已知对象的多个图像的组合。

9、如权利要求8的方法，其中使用多个图像的中间的平均轮廓或其他的平均轮廓，确定所述轮廓的变化并且统计分析所述变化，以确定在所需的精度水平之内描述所述轮廓及所述轮廓中的变化所需的数学函数的最少数目。

10、如权利要求4的方法，其中由使用者利用用户界面和图象处理器来实现所述描述和所述改变。

11、如权利要求4的方法，其中所述描述由所述对象的自动边缘检测器自动实现。

12、如权利要求4的方法，其中所述改变在逐像素的基础上实现。

13、一种定义轮廓的方法，使得所述轮廓的定义能够被用来根据来自对象的衍射辐射重构对象的轮廓，所述方法包括：

观察已知对象的图像；

将估计的轮廓添加到所述已知对象上；

在所述估计的轮廓中定义可变参数；

迭代地改变所述可变参数直到所述估计的轮廓与已知的对象相匹配为止；以及

存储所述轮廓以及所述可变参数。

14、如权利要求13的方法，其中所述估计的轮廓是三维的，并且包括至少一个形状定义器，所述形状定义器选自由以下元素组成的组：多边形、板、曲线、多项式方程、向量、预制形状以及样条。

15、如权利要求13的方法，其中所述估计的轮廓是二维的，并且包括至少一个形状定义器，所述形状定义器选自由以下元素组成的组：线、多边形、板、曲线、多项式方程、向量、预制图形以及样条。

16、如权利要求13的方法，其中所述估计的轮廓包括柄，并且所述改变所述估计的轮廓的所述可变参数的步骤包括在所述估计的轮廓上移动所述柄以便调整所述柄附近的所述轮廓的形状。

17、一种用于根据由用于照射对象的辐射而产生的衍射图案重构对象轮廓的方法，所述方法包括：

检测衍射自所述对象的辐射的衍射图案；

根据所述衍射图案生成模型轮廓，包括：

利用已知对象的信息定义轮廓、

利用数学函数描述所述轮廓的表面、以及

在所述数学函数中选择可变参数并且迭代地改变所述可变参数直到所述轮廓的所计算的衍射图案与已知对象的衍射图案相匹配；

从所述模型轮廓得到模型衍射图案；

比较所述模型衍射图案和所述检测到的衍射图案；以及

根据所述模型衍射图案和所述检测到的衍射图案的差异确定所述对象轮廓的估计。