[发明专利]图像产生装置

权利要求书

1.一种图像产生装置(1)，包括：

图像产生面板(IP)；

照明光学装置(IO)，该照明光学装置有中间面(21、S)，所述照明光学装置(IO)构造成改变光束(L)，以便均匀地且用适合所述面板(IP)形状的光束形状照明所述面板(IP)；

用于偏转的装置(10)，该装置(10)用于使具有相干特性的第一照明光(L1)的接收光束(L)偏转至用于照明的所述装置(20)，以便用所述光束(L)照射所述中间面(21、S)；以及

投影透镜(PL)，该投影透镜构造成投影从所述图像产生面板(IP)接收的图像(I)；

其中，用于偏转的所述装置(10)构造成在照射所述中间面(21、S)的过程中使得所述光束(L)相继照射所述中间面(21、S)的不同部分(Sj)；以及

其中，所述照明光学装置(IO)的所述中间面(21、S)定位成与所述投影透镜(PL)的孔径光阑(41、AS)光学共轭。

2.一种图像产生装置(1)，包括：

用于产生图像(I)的装置(30)；

用于照明用于产生图像(I)的所述装置(30)的装置(20)，该装置(20)有中间面(21、S)；

用于偏转的装置(10)，该装置(10)用于使具有相干特性的第一照明光(L1)的接收光束(L)偏转至用于照明的所述装置(20)，以便用所述光束(L)照射所述中间面(21、S)；以及

用于投影从用于产生所述图像(I)的所述装置(30)接收的图像(I)的装置(40)；

其中，用于偏转的所述装置(10)适合于在照射所述中间面(21、S)的过程中使得所述光束(L)相继照射所述中间面(21、S)的不同部分(Sj)；

其中，用于投影图像(I)的所述装置(40)有孔径光阑(41、AS)；以及

用于照明的所述装置(20)的所述中间面(21、S)定位成与所述孔径光阑(41、AS)光学共轭。

3.根据前述任意一个权利要求所述的装置，其中，用于偏转的所述装置(10)适合于在照射所述中间面(21、S)的所述过程中使得所述光束(L)处在所述中间面(21、S)上的不同位置。

4.根据前述任意一个权利要求所述的装置，其中，用于偏转的所述装置(10)适合于在照射所述中间面(21、S)的所述过程中使得所述光束(L)扫过所述中间面(21、S)。

5.根据前述任意一个权利要求所述的装置，其中，用于偏转的所述装置(10)适合于在照射所述中间面(21、S)的所述过程中使得所述光束(L)连续地移动横跨过所述中间面(21、S)。

6.根据前述任意一个权利要求所述的装置，其中，所述中间面(21、S)是用于照明的所述装置(20)或所述照明光学装置(IO)的表面。

7.根据前述任意一个权利要求所述的装置，其中，所述中间面(21、S)是用于照明的所述装置(20)或所述照明光学装置(IO)的交界面。

8.根据前述任意一个权利要求所述的装置，其中，所述中间面(21、S)是用于照明的所述装置(20)或所述照明光学装置(IO)的虚拟面。

9.根据前述任意一个权利要求所述的装置，其中，所述中间面(21、S)是用于照明的所述装置(20)或所述照明光学装置(IO)的漫射体的面。

10.根据前述任意一个权利要求所述的装置，其中，用于产生第一照明光的所述装置(50)可以有焦平面，并且，用于偏转的所述装置(10)位于所述焦平面附近。

11.根据前述任意一个权利要求所述的装置，其中，用于照明的所述装置(20)或者所述照明光学装置(IO)包括积分器板和聚光透镜，并且，所述中间面(21、S)在所述第二积分器板(24-2)附近。

12.根据前述任意一个权利要求所述的装置，其中，用于照明的所述装置(20)或者所述照明光学装置(IO)包括光导管和中继透镜系统，并且，该中间面(21、S)在该中继透镜系统的孔径光阑附近。

13.根据前述任意一个权利要求所述的装置，其中，用于照明的所述装置(20)或者所述照明光学装置(IO)包括附加漫射体，该附加漫射体位于该偏转装置(10)之前或之后。