[发明专利]有机EL器件的制造方法

权利要求书

1.一种制造具有钝化层的有机EL器件的方法，其中在通过CVD法形成钝化层的期间，在保持气体组成比不变的情况下调节气体压力，以层叠其中内应力是压应力的层和其中内应力是拉应力的层。

2.如权利要求1所述的制造有机EL器件的方法，其特征在于，所述气体压力是25至75Pa或125至200Pa。

3.如权利要求1或2所述的制造有机EL器件的方法，其特征在于，在通过CVD法形成钝化层的期间，在保持所述气体组成比不变的情况下调节气体压力，以层叠无内应力的层。

4.如权利要求3所述的制造有机EL器件的方法，其特征在于，所述气体压力大于75Pa小于125Pa。

5.如权利要求1至4中的任一项所述的制造有机EL器件的方法，其特征在于，所述其中内应力是压应力的层、所述其中内应力是拉应力的层以及所述无内应力的层由选自氧化物、氮化物和氧氮化物中的至少一种形成。