[发明专利]一种屏蔽2.45GHz电磁波的玻璃及其制备方法无效
| 申请号： | 200810060905.2 | 申请日： | 2008-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN101265037A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 平柏战;张溪文;金朝良;刘化文 | 申请（专利权）人： | 杭州钱塘江特种玻璃技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310018浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 屏蔽 2.45 ghz 电磁波 玻璃 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种屏蔽2.45GHz电磁波的玻璃，其特征是在白玻衬底(1)上自下而上依次沉积有第一硫化锌薄膜层(2)、金属银薄膜层(3)和第二硫化锌薄膜层(4)。
2.根据权利要求1所述的屏蔽2.45GHz电磁波的玻璃，其特征是第一、第二硫化锌薄膜层的厚度分别为30-60nm，金属银薄膜层的厚度为10-23nm。
3.根据权利要求1所述的屏蔽2.45GHz电磁波玻璃的制备方法，其步骤如下：
1)以白玻玻璃作为镀膜衬底，清洗后放入电子束蒸发工作室，工作室抽真空，通入Ar气体，用离子轰击再次清洁衬底表面；
2)加热衬底温度至100℃，用电子束蒸发在衬底上蒸镀硫化锌薄膜，控制工作室真空度1.6-2.5×10-3Pa，束流10～40mA，沉积速率3～9埃/秒；
3)关闭工作室加热装置，待冷却至室温后，用电子束蒸发蒸镀金属银薄膜，控制工作室真空度3-9.2×10-4Pa，束流80～500mA，沉积速率2～3埃/秒；
4)将上述镀膜玻璃再次加热至100℃，用电子束蒸发在金属银薄膜层表面蒸镀硫化锌薄膜，控制工作室真空度1.6-2.5×10-3Pa，束流10～40mA，沉积速率3～9埃/秒；
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