[发明专利]正性光敏聚酰亚胺光刻胶用显影液有效
| 申请号： | 200810046081.3 | 申请日： | 2008-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN101359189B | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 蒋亚东;唐先忠;王涛;王军 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610054 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光敏 聚酰亚胺 光刻 显影液 | ||
【权利要求书】：
1.正性光敏聚酰亚胺光刻胶用显影液，其组分包括强碱性化合物、水溶性酰胺类化合物、非离子表面活性剂、水溶性醇或醇醚类化合物和剩余量的水；
所述强碱性化合物为氢氧化钠或氢氧化钾，其含量为15.0～25.0wt％；
所述水溶性酰胺类化合物为乙酰胺、丙酰胺或N，N-二甲基甲酰胺；若为乙酰胺，其含量为2.0～3.0wt％；若为丙酰胺，其含量为1.5～2.5wt％；若为N，N-二甲基甲酰胺，其含量为2.5～3.0wt％；
所述非离子表面活性剂的含量为0.01～3.0wt％；
所述水溶性醇或醇醚类化合物为乙醇或丙醇，其含量为2.0～3.0wt％。
2.根据权利要求1所述的正性光敏聚酰亚胺光刻胶用显影液，其特征是，所述非离子表面活性剂为具有下述结构式的烷基酚聚氧乙烯醚类聚合物中的至少一种：
式中R1选自H+、碳原子数1～12的烷基、芳基、芳烷基或卤素基，R2选自H+、碳原子数1～12的烷基或芳基，n为6～25的整数。
3.根据权利要求2所述的正性光敏聚酰亚胺光刻胶用显影液，其特征是，所述非离子表面活性剂为壬基酚聚氧乙烯醚NP-10、NP-16和辛基酚聚氧乙烯醚OP-10或它们的组合物。
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