[发明专利]一种压电晶体气体传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种压电晶体气体传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)选择AT-切的石英晶振片，表面镀银后得到具有银电极的晶振片，依次用有 机溶剂、蒸馏水清洗银电极表面，干燥待用；

2)设计微型反应器，将石英晶振片固定在两片压克力之间，在压克力的上方 中央开孔，该开孔直径约等于与之相对的银电极的直径；

3)将步骤1)得到的干燥待用的石英晶振片置于步骤2)的微型反应器中，添 加反应溶液，以石英晶振片其中一面的银电极为正极并对准所述压克力中央的 开孔，铂电极为负极，接上恒电位/电流仪，并施加一定的电压/电流，直至银 电极被反应生成物的薄膜完全覆盖时即停止反应；

所述反应溶液是苯胺的硫酸或盐酸溶液，或者是吡咯的硫酸或盐酸溶液， 或者是噻吩的硫酸或盐酸溶液；

4)取出步骤3)完成后得到的石英晶振片，分别以稀酸溶液、稀碱溶液、蒸馏 水冲洗电极表面，用惰性气体吹干；

所述压克力与所述石英晶振片接触部分用硅胶垫片密封，并将导线接头压 在所述硅胶垫片和所述石英晶振片之间，使所述导线接头接触晶振片表面作为 正极的银电极而又不接触所述反应溶液。

2.按照权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述镀银晶振片的频率为 0.9M-10M。

3.按照权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述反应时间为0.5-12h。

4.按照权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述反应溶液中聚合物单 体的浓度为0.1-2mol/L，酸浓度为0.5-9.5mol/L。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述有机溶剂为丙酮。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述惰性气体是氮气。