[发明专利]超高真空自动卸压阀

权利要求书

1.一种超高真空自动卸压阀，其特征在于包括：

阀体，其具有阀体管和阀座，阀体管的下端与阀座连接，阀体管靠近阀座的 部分具有卸压排空的孔，阀座上设置有密封件；

阀板，阀板可在阀体内移动，阀板的底部压在阀体的阀座上的密封件时两者 真空密封；

阀杆，其下端连接阀板的上部，以带动阀板在阀体管内移动；

阀盖，封住阀体管的上端，具有中心孔；

调节螺杆，与阀盖的中心孔螺纹连接，具有中心孔，阀杆的上端穿过调节螺 杆的中心孔，阀杆可在调节螺杆的中心孔内移动；以及

调节弹簧，套置在阀杆上，且限位于阀板和调节螺杆之间，从而旋转调节螺 杆，可调节其弹力；

其中，阀板包括板和搭子，板的下部用于和阀座形成真空密封，板的上部的 中间和搭子连接，搭子具有中心孔和与中心孔相通的螺纹孔，搭子的中心孔壁上形 成有槽，阀杆的下端外表面上也形成有槽，阀杆的下端插入搭子的中心孔后，阀杆 上的槽和搭子上的槽形成一环形槽，多个滚珠从螺纹孔中放入，螺纹孔被一螺钉封 住，从而阀杆和阀板就连接在一起了。

2.如权利要求1所述的超高真空自动卸压阀，其特征在于所述卸压排空的孔 是在阀体管的圆周上形成的多个长槽孔，且该多个长槽孔被过滤网包覆。

3.如权利要求2所述的超高真空自动卸压阀，其特征在于所有长槽孔提供的 卸压排空的面积比阀体管的通径面积大1.5-2倍。

4.如权利要求1所述的超高真空自动卸压阀，其特征在于在阀板的外圆周上 形成有多个槽孔，在阀体管上形成轴向的多条导向槽，阀板的外圆周上的多个槽孔 和阀体管上的多条导向槽一一对齐，且在对齐的槽孔和导向槽之间放置滚珠，从而 阀板在阀体管内移动时不会接触阀体管内壁且只会产生滚动摩擦力。

5.如权利要求1所述的超高真空自动卸压阀，其特征在于在调节螺杆内嵌入 多个O形导向件，阀杆在调节螺杆内移动时与该O形导向件接触。

6.如权利要求5所述的超高真空自动卸压阀，其特征在于该O形导向件是O 形密封圈。

7.如权利要求1所述的超高真空自动卸压阀，其特征在于该超高真空自动卸 压阀倒安装时，阀板的底部的表面与阀座上的密封件的间距在1mm-3mm之间。

8.如权利要求1所述的超高真空自动卸压阀，其特征在于滚珠是陶瓷滚珠， 所述环形槽的横截面是圆形。

9.如权利要求2所述的超高真空自动卸压阀，其特征在于阀座上的密封件是 O形密封圈，所述过滤网是多层不锈钢丝网。