[发明专利]用石英和SiCf/SiC复合材料制备高温液态金属回路的方法

权利要求书

1.一种用石英和SiC_f/SiC复合材料制备高温液态金属回路的方法，包括以下步骤：

(1)芯模的准备：准备用于制备高温液态金属回路的石英芯模；

(2)纤维的编制：以SiC纤维为原料，采用三维编织技术，在上述石英芯模上制备SiC纤维编制件；

(3)先驱体浸渍裂解制备SiC_f/SiC复合材料：所用先驱体为聚碳硅烷，将聚碳硅烷、二甲苯按照1∶(1～10)的质量比混合，所述SiC纤维编制件以聚碳硅烷/二甲苯的混合溶液为浸渍液体进行高压浸渍，浸渍压力为1～10MPa，浸渍时间为1～24h；再进行高温裂解，裂解温度为800～1500℃，保温1～10h；重复所述高压浸渍到高温裂解工艺5～25次，得到高温液态金属回路粗模；

(4)碳化硅涂层：将上述高温液态金属回路粗模进行化学气相沉积，涂层的厚度为3～70μm，涂层后得到高温液态金属回路成品。

2.根据权利要求1所述的用石英和SiC_f/SiC复合材料制备高温液态金属回路的方法，其特征在于所述石英芯模中二氧化硅的质量分数为99.9％，且其表面粗糙度小于1nm。

3.根据权利要求1所述的用石英和SiC_f/SiC复合材料制备高温液态金属回路的方法，其特征在于所述高温裂解的升温过程中，在300～500℃和550～800℃两个温度段分别设立保温点，在每个保温点分别保温1～10h。

4.根据权利要求1所述的用石英和SiC_f/SiC复合材料制备高温液态金属回路的方法，其特征在于所述化学气相沉积的沉积温度为500～1500℃；载气体为H₂，气体的流量为50～200ml/min；稀释气体为氩气，气体的流量为100～600ml/min；沉积压力为0.1～10KPa；沉积时间为1～100h；沉积原料选用三氯甲基硅烷。