[发明专利]硅基压电悬臂梁式微型发电装置

权利要求书

1、一种硅基压电悬臂梁微型发电装置，其特征是，有硅质固定框架(1)、氧化层(2)、铂/钛下金属层(3)、压电PZT层(4)、铂/钛上金属层(5)、电极绝缘保护层(6)、振动底座(7)构成；硅质固定框架(1)的结构是利用单晶硅湿法腐蚀和干法腐蚀相结合完成加工，其结构连为一体，其中心部分的结构为悬臂梁形状，包括硅悬臂梁(a)和自由端质量块(b)；硅质固定框架(1)上表面氧化形成二氧化硅氧化层(2)；氧化层(2)上的铂/钛下金属层(3)利用磁控溅射法制作完成；铂/钛下金属层(3)上的压电PZT层(4)利用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法多次甩胶生长制成；其上为铂/钛上金属电极(5)；最上层的电极绝缘保护层(6)为二氧化硅绝缘材料，利用磁控溅射法溅射完成；另外在电极绝缘保护层(6)上刻有电源电极引线槽(c)和(d)；铂/钛下金属层(3)与铂/钛下金属层(5)组成硅基压电悬臂梁发电装置正负电极。

2、根据权利要求1所述的硅基压电悬臂梁发电装置，其铂/钛上金属电极(5)的其特征是，铂/钛上金属电极(5)形状为平面或为梳齿状正负电极(8、9)。

3、根据权利要求1或2所述的硅基压电悬臂梁发电装置，其特征是，硅质固定框架(1)内的悬臂梁(a)布置形式为单个布置或多个悬臂梁阵列布置。