[发明专利]轴向热压方法在审
| 申请号: | 200780046903.1 | 申请日: | 2007-12-19 |
| 公开(公告)号: | CN101573309A | 公开(公告)日: | 2009-11-04 |
| 发明(设计)人: | G·蔡特勒;H·施赖讷马赫尔;C·R·龙达 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号: | C04B35/547 | 分类号: | C04B35/547;C04B35/645;C04B35/50;C09K11/84 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 蔡洪贵 |
| 地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 轴向 热压 方法 | ||
1.一种用于烧结陶瓷粉末(9)的轴向热压方法,包括以下步骤:
将第一多孔体(7)、陶瓷粉末(9)和第二多孔体(7)放入由支撑 件(13,14)支撑的型壳(5)中,其中,所述陶瓷粉末位于第一多孔体 (7)与第二多孔体(7)之间;
将气态组分从所述陶瓷粉末(9)中抽出,达到小于0.8bar的环境 压力;
将所述多孔体(7)和所述陶瓷粉末(9)加热到至少900℃的温度; 以及
给所述多孔体(7)和所述陶瓷粉末(9)施加压力,达到至少75MPa 的压力;
由此,所述方法还包括以下步骤:
使所述型壳(5)与所述支撑件(13,14)分开;
其中,加热步骤的时间变化与施加压力步骤的时间变化被相互调整, 使得所述型壳(5)被所述多孔体(7)和/或所述陶瓷粉末(9)保持在 相对于所述支撑件(13,14)的分开状态。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,润滑剂被设置在所述型 壳(5)上,使得所述型壳(5)与所述陶瓷粉末(9)之间和所述型壳(5) 与所述多孔体(7)之间的摩擦减小。
3.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,设置至少第一堆叠 和第二堆叠,其中,每个堆叠包括设置在所述多孔体(7)之间的所述陶 瓷粉末(9),所述第一堆叠和第二堆叠被放入两个不同型壳(5)中,并 且每个型壳(5)被保持在分开状态。
4.如权利要求3所述的方法,其特征在于,间隔元件(15)被设置 在所述第一堆叠和所述第二堆叠之间,用于将堆叠密封在其型壳(5)中, 其中,所述间隔元件(15)包括止动元件,以限制所述型壳(5)相对于 所述间隔元件(15)的相对移动。
5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述间隔元件(15)的 几何形状和用于所述间隔元件(15)的材料的热膨胀系数被选择成,使 得在所述型壳(5)的分开状态下,通过所述陶瓷粉末(9)和/或所述多 孔体(7)保持所述型壳(5)的摩擦力小于没有间隔元件(15)时的摩 擦力、但是大于在施加压力之前的状态时的摩擦力。
6.如权利要求4或5所述的方法,其特征在于,所述间隔元件(15) 被连接到用于调整间隔元件(15)的温度的温度控制装置、和/或被连接 到用于将所述型壳(5)夹紧到所述间隔元件(15)的夹紧装置。
7.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述支撑件(13, 14)被用作热辐射保护。
8.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述陶瓷粉末(9)是掺 杂的Gd2O2S。
9.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述环境压力小于1× 10-3bar。
10.如权利要求1所述的方法,其特征在于,施加给所述多孔体(7) 和所述陶瓷粉末(9)的所述压力为至少120Mpa。
11.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述润滑剂是氮化硼。
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