[发明专利]室内粒子侦测系统

权利要求书

1.一种用于半导体处理室的原位室内粒子监测组件，包括：

至少一个激光光源，其中该至少一个激光光源可以在处 理室内的室处理体积内扫描激光光；

多个激光光收集器，其中该多个激光光收集器可以收集 由该至少一个激光光源发出的激光光，其中该多个激光光收集 器被设置为没有激光光收集器共享公共轴线；和

位于处理室外部的分析器，分析代表由该多个激光光收 集器收集的激光光的信号以提供室内粒子信息。

2.根据权利要求1所述的原位室内粒子监测组件，其中该室内粒 子信息包括粒子数量、粒子尺寸和粒子位置。

3.根据权利要求1所述的原位室内粒子监测组件，其中室内粒子 信息包括代表室处理体积内的粒子分布的三维图像。

4.根据权利要求1所述的原位室内粒子监测组件，其中该至少一 个激光光源和该至少一个激光光收集器两者的至少部分嵌在 室壁内。

5.根据权利要求1所述的原位室内粒子监测组件，其中该至少一 个激光光源和该至少一个激光光收集器两者的至少部分嵌在 处理室衬垫内。

6.根据权利要求1所述的原位室内粒子监测组件，其中该室处理 体积围绕限定在处理室内的基片支撑件上的平面。

7.一种具有原位室内粒子监测组件以确认室内粒子源的处理室， 包括：

位于处理室内的基片支撑件；

设置于该基片支撑件上方的处理室顶板；

至少一个激光光源，其中该至少一个激光光源可以在处 理室内的室处理体积内扫描激光光，该室处理体积被限定在该 基片支撑件和该处理室顶板之间；

多个激光光收集器，其中该多个激光光收集器可以收集 由至少一个激光光源发出的激光光，其中该多个激光光收集器 被设置为没有激光光收集器共享公共轴线；和

位于该处理室外部的分析器，分析代表由该多个激光光 收集器收集的激光光的信号以提供室内粒子信息。

8.根据权利要求7所述的处理室，其中所述原位室内粒子监测组 件至少有两个激光光源，该至少两个激光光源彼此分开设置以 向该处理室提供光源。

9.根据权利要求7所述的处理室，其中该至少一个激光光源和该 至少一个激光光收集器两者的至少部分嵌在室壁内。

10.根据权利要求7所述的处理室，其中室壁限定在该基片支撑件 周围，且在该室壁内设置衬垫。

11.根据权利要求10所述的处理室，其中该至少一个激光光源和 该至少一个激光光收集器两者的至少部分嵌在该处理室衬垫 内。

12.根据权利要求10所述的处理室，其中有多个处理室衬垫，该 至少一个激光光和该至少一个激光光收集器两者的至少部分 嵌在多个处理室衬垫内。

13.根据权利要求11所述的处理室，其中有3个激光光源和3个 光源收集器。

14.一种原位收集室内粒子信息的方法，包括：

在处理室的处理体积内扫描由激光光源发出的激光光；

由多个激光光收集器收集该处理室内的激光光；

调整该多个激光光收集器的方位，使得没有激光光收集 器共享公共轴线；和

分析该收集来的激光光以确定处理室内粒子信息。

15.根据权利要求14所述的方法，其中该处理体积被限定在处理 室顶板和基片支撑件之间。

16.根据权利要求14所述的方法，进一步包括：

将该激光光源和该多个激光光收集器嵌在室壁内。

17.根据权利要求14所述的方法，进一步包括将该激光光源和该 多个激光光收集器嵌在处理室衬垫内。

18.根据权利要求17所述的方法，其中具有该激光光源和多个激 光光收集器的该处理室衬垫是可移除的。