[发明专利]输送蒸汽的系统和方法

权利要求书

1.一种将蒸汽输送到外部系统的方法，包括：

将液体放到密闭容器中，其中所述液体在所述密闭容器中蒸发以形成蒸汽；

将所述密闭容器中的压力降低到低于大气压力；

利用压力传感器来检测所述密闭容器中的压力；

响应于检测到的降低到低于所要求水平的压力来加热所述液体；以及

将所述蒸汽输送到所述外部系统。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述降低包括将所述密闭容器中的压力降低到在20到150托之间的压力。

3.如权利要求1所述的方法，包括将所述密闭容器内部的压力维持为实质上恒定的压力。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述液体是液态水。

5.如权利要求1所述的方法，包括向控制器发送所述检测到的压力的信号指示，并且从所述控制器向加热器发送控制信号以增加传递给所述液体的热量。

6.如权利要求5所述的方法，包括向所述加热器发送控制信号，该控制信号与所述密闭容器中的压力和所要求的压力之间的差成比例。

7.如权利要求1所述的方法，包括将所述液体维持在实质上未通过机械方法搅动的状态中。

8.如权利要求1所述的方法，包括：

利用至少一个阻挡件来阻止至少一部分溅起的液体进入所述密闭容器的蒸汽出口管。

9.一种蒸汽输送系统，包括：

腔室，其适合于容纳液体和来自所述液体的蒸汽，其中所述腔室包括端口，该端口配置成将所述腔室连接到真空使得所述腔室中的压力能够被降低到低于大气压力；

蒸汽出口，其相对于所述腔室安置使得能够排出来自所述腔室的蒸汽；

压力传感器，其在所述腔室内部并且安置在所述液体的外部以测量所述腔室中的压力，其中所述传感器被配置成提供所述腔室中的压力的信号指示。

加热器，其连接到所述腔室并且安置成使得能够将热量传递给所述液体；以及

控制电路，其连接到所述压力传感器和加热器，其中所述控制电路被配置成响应于指示所述腔室的压力下降的信号，通过所述加热器增加传递给所述液体的热量。

10.如权利要求9所述的系统，其中所述控制电路是比例积分微分(PID)控制电路。

11.如权利要求9所述的系统，其中所述液体是液态水并且所述蒸汽是水蒸汽。

12.如权利要求9所述的系统，其中所述腔室包括挡板，该挡板被配置和安置成使得能够减少进入所述蒸汽出口的液体量。

13.一种用于从处理环境消除不良成分的方法，包括：

将液体放到腔室中，其中所述液体的蒸汽能够与所述不良成分结合；

将所述腔室中的压力降低到低于大气压力；

利用压力传感器检测所述腔室中的压力；

将传递给所述液体的热量调节成所检测的压力的函数，以便当维持所述腔室中的低于大气压力的压力时维持所述腔室中的所要求的蒸汽量；以及

将所述蒸汽输送到消除系统，所述消除系统利用所述蒸汽来减少所述不良成分。

14.如权利要求13所述的方法，其中所述处理环境是半导体制造处理环境。

15.如权利要求13所述的方法，其中所述液体是液态水。

16.如权利要求13所述的方法，其中调节传递给所述液体的热量包括利用PID控制器来调节热量。

17.如权利要求13所述的方法，其中所述降低包括利用真空来降低所述腔室中的压力，所述真空还被利用在所述处理环境内的有关制造过程中。